N2 的泵浦抽氣速度 | ||
ISO100 | l/s | 300 |
CF100 | l/s | 300 |
N2 的壓縮比 | ||
ISO100 | >1x1011 | |
CF100 | >1x1011 | |
前級泵浦抽氣速度 50Hz | ||
E2M1.5 | m3/h | 1.6 |
XDD1 | m3/h | 1 , 2 |
極限真空 | ||
ISO100 | mbar | <6x10-8 |
CF100 | mbar | <5x10-10 |
排氣口法蘭 | ||
E2M1.5 | 11 mm OD 噴嘴或 3/8" BSP | |
XDD1 | 已裝配消音器或 1/8" BSP | |
質量 | ||
TS300 ISO100 E2M1.5 | 公斤 | 26 |
TS300 CF100 E2M1.5 | 公斤 | 29 |
TS300 ISO100 XDD1 | 公斤 | 21 |
TS300 CF100 XDD1 | 公斤 | 24 |
噪音等級 | db(A) | <56 dB (A) ± 3dB(A) 公告的雙數噪音排放值符合 ISO4871 標準 |
密封性 | mbar l/s | <1x10^-6 |
操作溫度範圍 | ||
TS300 E2M1.5 | °C | +12 至 +40 |
TS300 XDD1 | °C | +5 至 +35 |