低溫泵浦

卓越的效能和更長的工具正常運行時間

可靠性和效能達到世界標準

從用於多種高科技研究應用的單個低溫泵浦到用於半導體、平板和光學裝置製造的精密低溫泵浦系統,CTI-Cryogenics 為低溫高真空技術樹立了世界標準

主要特點

  • Fast Regen™ 功能,可在再生間隔期間延長低溫泵浦效能
  • 透過將您的低溫泵浦連接網路實現多台泵浦的同時再生,從而加速整套系統的再生
  • 嵌入式微處理器控制可提高效能、執行診斷常式並提供通訊功能
  • 完善的軟體和易於使用的圖形化使用者介面可顯著改善效能和操作。

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