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愛德華低溫泵浦系列

CTI-Cryogenics 低溫泵浦

卓越的效能和更長的工作運行時間

可靠度與性能的世界級規格標準

從單個低溫泵浦對各種高科技的應用,到精密低溫泵浦系統用於半導體製程、平板和光學元件製造,CTI-Cryogenics 是低溫高真空技術領域中的黃金指標。

關鍵特性

  • Fast Regen™ 功能增進了低溫泵浦兩次再生間表現 。
  • 經由低溫泵網路連線方式實現了同時再生能力,並且加速整體系統再生。
  • 嵌入式微製程控制器有助於增強性能、執行診斷例行工作,並提供相關訊號能力。
  • 精密軟體和簡易的圖形化使用者介面,可大幅提升效能與操作。

若需要聯絡清單,請參閱「低溫技術」。