Криогенные чиллеры

Криогенные системы охлаждения сокращают время откачки и улучшают параметры вакуума

Криогенные чиллеры и криогенные охладители

Криогенный чиллер Polycold — это система охлаждения с замкнутым контуром и охлаждающей способностью до 4 000 ватт. Такие системы могут использоваться для захвата водяного пара и других конденсируемых частиц в процессе вакуумирования, что значительно сокращает время окачки, а также улучшает параметры вакуума. Продукты Polycold могут также использоваться в установках непосредственного охлаждения, например для охлаждения электростатических патронов в производстве полупроводников или для охлаждения различных сенсорных устройств в целях улучшения приема сигнала.

Особенности:

  • Диапазон охлаждающей способности моделей: 630–800 ватт 
  • Допустимая температура — до –100 °C и ниже 
  • Рассчитаны на непрерывное охлаждение 
  • Рециркуляция сжатого сухого газа 
  • Автоматическое заполнение 
  • Соответствие требованиям нормативов ЕС, SEMI F47 и SEMI S2 
  • Газообразные хладагенты разрешены к применению Агентством по охране окружающей среды США (EPA-SNAP), не содержат хлорфторуглеродов, гидрохлорфторуглеродов, а также соответствуют законодательным требованиями Европейского Союза • Надежны в эксплуатации 
  • Длительный срок службы, незначительный объем технического обслуживания, либо полное отсутствие необходимости его выполнения