Криогенные чиллеры и криогенные охладители
Вот почему компания Edwards с готовностью включила чиллеры Polycold в свой ассортимент.
Криогенный чиллер Polycold — это система охлаждения с замкнутым контуром и охлаждающей способностью до 4 000 ватт. Такие системы могут использоваться для захвата водяного пара и других конденсируемых частиц в процессе вакуумирования, что значительно сокращает время окачки, а также улучшает параметры вакуума. Продукты Polycold могут также использоваться в установках непосредственного охлаждения, например для охлаждения электростатических патронов в производстве полупроводников или для охлаждения различных сенсорных устройств в целях улучшения приема сигнала.
Особенности:
- Диапазон охлаждающей способности моделей: 630–800 ватт
- Допустимая температура — до –100 °C и ниже
- Рассчитаны на непрерывное охлаждение
- Рециркуляция сжатого сухого газа
- Автоматическое заполнение
- Соответствие требованиям нормативов ЕС, SEMI F47 и SEMI S2
- Газообразные хладагенты разрешены к применению Агентством по охране окружающей среды США (EPA-SNAP), не содержат хлорфторуглеродов, гидрохлорфторуглеродов, а также соответствуют законодательным требованиями Европейского Союза • Надежны в эксплуатации
- Длительный срок службы, незначительный объем технического обслуживания, либо полное отсутствие необходимости его выполнения
Криогенные чиллеры и криогенные охладители