Spectra

Spectra: достижение целей по защите окружающей среды

Очистка отработавших газов


• Уникальная четырехступенчатая технология сжигания


• Эффективное разложение SiH4


• Эффективное разложение H2 при высоком потоке


• Превосходное управление большими потоками NF3 и F2


• Эффективное разложение NH3


• Модульная конструкция очистной системы и удаление твердых частиц


• Эффективность удаления порошковых веществ — 80 %


Удаление кислых газов


• Встроенный мокрый газоочиститель


• Модуль рециркуляции воды для оптимизации расхода воды


Улавливание порошковых веществ


Spectra ZW2 — очистная система с водяным охлаждением и функцией удаления твердых частиц


• Модульный влажный электростатический осадитель (WESP)


• Удаление до 99 % твердых частиц


• Высокопроизводительное осаждение больших объемов порошка


• Низкая стоимость владения по сравнению с альтернативными решениями Обновить здесь