Система Spectra для очистки отработавших газов — это экономически выгодное, надежное и высокопроизводительное решение для самых современных технологических процессов при производстве дисплеев с плоскими экранами (FPD) и солнечных батарей.
Очистка отработавших газов
• Уникальная четырехступенчатая технология сжигания
• Эффективное разложение SiH4
• Эффективное разложение H2 при высоком потоке
• Превосходное управление большими потоками NF3 и F2
• Эффективное разложение NH3
• Модульная конструкция очистной системы и удаление твердых частиц
• Эффективность удаления порошковых веществ — 80 %
Удаление кислых газов
• Встроенный мокрый газоочиститель
• Модуль рециркуляции воды для оптимизации расхода воды
Улавливание порошковых веществ
Spectra ZW2 — очистная система с водяным охлаждением и функцией удаления твердых частиц
• Модульный влажный электростатический осадитель (WESP)
• Удаление до 99 % твердых частиц
• Высокопроизводительное осаждение больших объемов порошка
• Низкая стоимость владения по сравнению с альтернативными решениями Обновить здесь
