Spectra

Spectra: достижение целей по защите окружающей среды

Очистка отработавших газов

• Уникальная четырехступенчатая технология сжигания

• Эффективное разложение SiH4

• Эффективное разложение H2 при высоком потоке

• Превосходное управление большими потоками NF3 и F2

• Эффективное разложение NH3

• Модульная конструкция очистной системы и удаление твердых частиц

• Эффективность удаления порошковых веществ — 80 %

Удаление кислых газов

• Встроенный мокрый газоочиститель

• Модуль рециркуляции воды для оптимизации расхода воды

Улавливание порошковых веществ

Spectra ZW2 — очистная система с водяным охлаждением и функцией удаления твердых частиц

• Модульный влажный электростатический осадитель (WESP)

• Удаление до 99 % твердых частиц

• Высокопроизводительное осаждение больших объемов порошка

• Низкая стоимость владения по сравнению с альтернативными решениями Обновить здесь