You are using a browser we do not support any longer. To continue visiting our website, please choose one of the following supported browsers.
Наши рынки
Новости
Наши рынки
Наша продукция
Сервисные решения
Знания
News
News
News
Knowledge & Insight
Knowledge & Insight
Service Solutions
Система Spectra для очистки отработавших газов — это экономически выгодное, надежное и высокопроизводительное решение для самых современных технологических процессов при производстве дисплеев с плоскими экранами (FPD) и солнечных батарей.
Очистка отработавших газов
• Уникальная четырехступенчатая технология сжигания
• Эффективное разложение SiH4
• Эффективное разложение H2 при высоком потоке
• Превосходное управление большими потоками NF3 и F2
• Эффективное разложение NH3
• Модульная конструкция очистной системы и удаление твердых частиц
• Эффективность удаления порошковых веществ — 80 %
Удаление кислых газов
• Встроенный мокрый газоочиститель
• Модуль рециркуляции воды для оптимизации расхода воды
Улавливание порошковых веществ
Spectra ZW2 — очистная система с водяным охлаждением и функцией удаления твердых частиц
• Модульный влажный электростатический осадитель (WESP)
• Удаление до 99 % твердых частиц
• Высокопроизводительное осаждение больших объемов порошка
• Низкая стоимость владения по сравнению с альтернативными решениями Обновить здесь