가스 분석기 (Residual Gas Analyser, RGA) - Edwards Vacuum

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Edwards RGA 가스 분석기

아트라스콥코의 RGA에는 두 가지 모델이 포함되어 있습니다. 두 제품은 모두 간단하고 효율적인 작동으로 높은 성능과 효율성을 보장합니다.

모든 RGA에는 사용하기 쉬운 전용 소프트웨어가 탑재되어 노트북에서 실시간으로 공정을 추적할 수 있으며 최대 16가지 유닛을 상세히 분석할 수 있습니다.

미리보기의 경우, 유닛에 독특한 디스플레이가 내장되어 있어 노트북을 연결하지 않고도 주요 가스 유형과 전체 시스템의 압력을 볼 수 있습니다.

PRA 일차 가스 분석기

고성능과 접근성의 완벽한 균형을 제공

기본 모델이나 감도/범위가 더 넓은 모델이 필요한 경우, 프로세스 요구 사항에 맞게 4가지 변형 모델이 제공됩니다.
PRA는 프로세스 분석을 위한 완벽한 시작점입니다.

WRA wide range 가스 분석기

업계 최고의 사양을 갖춘 최고급 모델

1-200 또는 1-300 amu의 두 가지 모델이 있으며, 공정의 광범위한 가스/부산물을 측정할 수 있습니다.
PRA에 비해 민감도가 향상되어 측정이 더욱 정확합니다.

독특한 장점

총 압력 측정

전체 공정 제어용

듀얼 필라멘트

최고의 안정성과 가동 시간

유닛 상 디스플레이

PC 없이 기본 측정용

고객이 부품 교체 가능

탈기 기능

이온원 및 EM 보호

응용 분야 및 시장

RGA는 가스 및 그 구성을 분석합니다. 이는 다음 경우에 필요합니다.

누출 감지 및 식별
오염 물질을 찾아 식별합니다.
가스 순도를 확인합니다.
제품/프로세스 품질 보증
공정 & 장비 진단 및 제어
프로세스 성능 및 산출량 최적화

다양한 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션:

반도체 공정
박막 및 디스플레이
진공 열 처리
진공 동결 건조
연구&개발(R&D)
고에너지 물리학

문서

PRA and WRA Residual Gas Analyser Product Datasheet 253.9 kB, PDF
PRA and WRA Residual Gas Analyser Brochure 2.5 MB, PDF
Vacuum Measurement and Control Brochure 3.1 MB, PDF