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Edwards STP 자기부상 터보 분자 펌프

STP 자기부상 터보 분자 펌프

낮은 진동, 제로 유지보수

챔버 솔루션에 관하여

제로 유지보수를 통한 일관되고 신뢰할 수 있는 성능이 필요한 경우 당사의 STP 자기부상 터보 분자 펌프의 제품군이 기준을 제시합니다. 로터는 자석 베어링에 의해 완전히 매달린 상태로, 고 가동 시간의 탄화수소 없는 펌핑 작업, 최소한의 정비 및 낮은 진동을 요구하는 작업에 적합합니다.

고효율 처리량을 위한 시리즈

고효율(Advanced) 시리즈는 더 높은 수준의 처리량을 제공하며, 반도체 식각 및 CVD 공정에 알맞습니다.

  • 작은 설치 공간
  • 처리 속도 300 l/s에서 4,500 l/s
  • 처리 속도 최대 6 slm, H2, N2, Ar 성능 증가

이 일체형 터보 펌프 솔루션은 기존에 필요하던 케이블과 선반을 연결할 필요가 없습니다.

  • 발자국 감소, 귀중한 팹 부지 절약, 설치 시간 및 비용 절감
  • On-board 전원 공급장치로 고유량 가스에서 에너지 소비량 최대 32%까지 절감
  • 처리 속도 300 l/s에서 4,500 l/s로 작동

초고진공 시리즈는 비교할 수 없을 정도로 뛰어난 신뢰성, 성능, 청결함과 동급 최고의 저진동 수준을 자랑합니다.

  • D.C. 전력으로 배터리가 필요 없습니다.
  • 하프 랙 컨트롤러로 자동 조정 및 고급 진단 기능을 이용할 수 있습니다.
  • 300 l/s에서 1,000 l/s의 속도의 <10-10 mbar의 절대 압력 CF 플랜지
  • 험한 공정을 위한 'C' 버전도 준비되어 있습니다.다

초고진공 저진동 버전은 초고진공 시리즈에 있는 모든 기능을 포함하며 여기에 내장 방진장치가 추가되어 진동을 매우 크게 낮춰줍니다.