Edwardsのターボ分子ポンプステーションシリーズは、取り付けと操作を容易にするための最新の先進技術を組み入れ、包括的な真空ソリューションを提供するために開発されました。
パフォーマンスの拡大
Edwards T-Station 300ポンプステーション
新型Edwards T-Station 300の登場により、高い評価を頂いている弊社ターボ分子ポンプステーションの幅広い品揃えがさらに拡がりました。
T-Station 300は、弊社が確立したT-Station 85の経験に基づいています。同じコンパクトなフォーマットながらポンプスピードが高速化しており、nEXT85ターボ分子ポンプからnEXT300ポンプへの変更により、ポンプスピードレンジが拡大し、300 ls-1の性能を発揮します。
Edwards T-Station 85ポンプステーション
T-Station 85は、nEXT85Hターボ分子ポンプと、ドライダイヤフラムポンプまたはオイルシールドバッキングポンプ、およびシンプルなコントローラをシームレスに組み合わせ、47～84 l/sのポンプスピードを実現しました。
T-Station 85にはターボおよびアクティブゲージコントローラが内蔵されており、ボタンひとつによるシステム始動/停止、アクティブなゲージの個別制御、通気弁制御、時間または圧力によるターボ分子ポンプの遅延始動（ゲージ装着の場合）などが可能です。T-Station 85は一般的な研究室ニーズに最適です。
Edwards TICターボ分子ポンプステーション
すべてのEdwardsターボ分子ポンプステーションにはTICターボおよびインスツルメントコントローラが搭載されており、コントロールパネルによる始動/停止、Edwardsアクティブゲージの簡単な統合が可能です。
TICターボ分子ポンプステーションのポンプスピードレンジは85～400 l/sで、TICコントローラが搭載されており、オイルシールドバッキングポンプまたはドライバッキングポンプのいずれかをお選びいただけます。すべてのTICターボ分子ポンプステーションには業界トップレベルのnEXTターボ分子ポンプが搭載されており、実証済みの信頼性と容易な保守性をお約束します。
オイルシールドポンプには標準でEMFミストフィルタが装備され、nXDSドライスクロールポンプには標準でターボポンプとバッキングポンプ間にアイソレーションバルブが搭載されています。
| N2ポンプスピード | ||
| ISO100 | l/s | 300 |
| CF100 | l/s | 300 |
| N2圧縮率 | ||
| ISO100 | >1x1011 | |
| CF100 | >1x1011 | |
| バッキングポンプスピード50 Hz | ||
| E2M1.5 | m3/h | 1.6 |
| XDD1 | m3/h | 1.2 |
| 到達真空レベル | ||
| ISO100 | mbar | <6x10-8 |
| CF100 | mbar | <5x10-10 |
| 排気フランジ | ||
| E2M1.5 | 外径11 mmノズルまたは3/8" BSP | |
| XDD1 | 装着サイレンサまたは1/8" BSP | |
| 質量 | ||
| TS300 ISO100 E2M1.5 | kg | 26 |
| TS300 CF100 E2M1.5 | kg | 29 |
| TS300 ISO100 XDD1 | kg | 21 |
| TS300 CF100 XDD1 | kg | 24 |
| ノイズレベル | dB（A） | <56 dB(A) ± 3dB(A)、ISO4871に準拠したデュアルナンバー騒音排出の申告値 |
| 気密性 | mbar l/s | <1x10^-6 |
| 運転温度範囲 | ||
| TS300 E2M1.5 | ℃ | +12～+40 |
| TS300 XDD1 | ℃ | +5～+35 |
| T-Station 85 | 技術仕様 |
| N2ポンプスピード | |
| NW40 | 47 ls-1 |
| ISO/CF63 | 84 ls-1 |
| N2圧縮率 | >1 x 1011 |
| バッキングポンプスピード@50 Hz | |
| E2M1.5（TS85H湿式） | 1.6 m3h-1 |
| XDD1（TS85H乾式） | 1.2 m3h-1 |
| 到達真空レベル | <5 x 10-10 mbar* |
| インレットフランジ | NW40、ISO63、またはCF63 |
| 排気フランジ | |
| E2M1.5（TS85H湿式） | 外径11 mmノズルまたは3/8” BSP |
| XDD1（TS85H乾式） | 装着サイレンサまたは1/8” BSP |
| 質量 | |
| E2M1.5システム（TS85H湿式） | 最大21 kg |
| XDD1システム（TS85H乾式） | 最大17 kg |
| ノイズレベル | ≤56 dB(A) |
| 気密性 | <1 x 10-6 mbar ls-1 |
| 運転温度範囲 | 12～40℃ |
| *T-Station 85HウェットCF63 |
