ドライスクロールポンプ

革新的なデザインの高性能のドライ真空ポンプ

Edwards XDSおよびnXDSシリーズのドライスクロールポンプ

Edwardsドライスクロールポンプは、さまざまな用途での高い性能が実証されているドライでクリーンなソリューションを提供します。

Edwards XDS35iスクロールポンプ

Edwards XDS35iスクロールポンプ

XDSドライスクロールポンプ

XDSドライスクロールポンプは、ドライポンプが最も重要であり、さまざまな用途で堅牢かつクリーンな真空ポンプソリューションであることが証明され、業界標準となりました。

現在では、特許取得済みのダブルスタートスクロールフォームテクノロジーとバイパスバルブの組み合わせにより、Edwardsは当社オリジナル製品を補完するXDS35i Enhancedシリーズのポンプを提供することができるようになりました。

Edwards nXDS15iスクロールポンプ

Edwards nXDS15iスクロールポンプ

nXDSドライスクロールポンプ

nXDSは最新世代のスクロールポンプで、高速の排気速度と低い到達圧力と組み合わせることで、他のポンプより電力消費と騒音レベルが低減されています。

nXDSポンプは完全にフィールドサービス可能な設計です。そのインテリジェントコントロール機能と最大5年のサービス間隔により、所有コストが低く抑えられ、今日の先進技術の中で最も選ばれる小型ドライポンプです。

軸受シールド

プロセスガスと軸受潤滑剤を確実に分離することで、クリーンな真空を確保し、プロセスガスにより潤滑剤が汚染されることもなくなるため、軸受寿命を延長することができます。

インバータドライブ機能+D1873搭載

世界中で一貫した性能、ポンプ過負荷保護およびリモートの始動/停止能力を意味します。

高流量ガスバラスト機能

最大240 g/hの水蒸気を含む蒸気の排気が可能

シンプルな片側スクロール設計

数分間で保守を完了し、所有コストを低く抑えてアップタイムを最大限に高めることができます。

一歩先を実現させた技術

エンハンスドバージョンは最初のポンプダウン時にピーク電力要件を最大20%低くすることができ、パフォーマンスの損失なしに大量のチャンバをポンプダウンする能力があります。さらにこれらの粗引き圧力で最大25%も排気速度が高まるため、高頻度サイクルの用途にも役立ちます。

作業環境の改善と環境への影響の低減

静かな動作

シンプルな動作

インテリジェントで使いやすいコントロール

汚染も廃油もなし

潤滑剤のない真空環境のための密閉シール

低所有コスト

長期間のサービス間隔と低い電力消費

高速プロセス

優れた蒸気処理

Edwards nXDS回転の動画

断面のアニメーションでnXDSが動作する様子をご覧ください これができるのはEdwardsだけです

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EdwardsがXDS35i 改良型大型クロールポンプを発売

新しいXDS35i改良型は、Edwardsにより長年にわたり確立された大型スクロールポンプのラインアップに加わったばかりの新製品です。

以前のモデルと同じ堅牢、効果の証明されたプラットフォーム設計を共有し、さらに拡張された性能エンベロープにより、XDS35i強化型はお客様にさらに多くのEdwardsのスクロール技術から恩恵を受ける機会をもたらします。

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EdwardsがnXDSスクロールポンプを発売

EdwardsのnXDSスクロールポンプファミリーは、その証明された性能と信頼性の実績により、当社で最も人気のある真空ポンプに加わりました。

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