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ドライスクロールポンプ

革新的なデザインの高性能のドライ真空ポンプ

Edwards XDSおよびnXDSシリーズのドライスクロールポンプ

XDSドライスクロールポンプ

Edwards XDS35iスクロールポンプ

Edwards XDS35iスクロールポンプ

ドライポンプが不可欠な場合に業界標準となり、最大40 m3h-1のポンプ速度を持つさまざまな用途で堅牢でクリーンな真空ポンプソリューションであることが証明されています。

  • 一歩先を実現する技術!

特許取得済みのダブルスタートスクロールフォームテクノロジーとバイパスバルブの組み合わせにより、Edwardsは、当社のオリジナル製品を補完するXDS35i Enhancedシリーズのポンプを提供することができるようになりました。

XDS35iには、ポンプを管理し、世界規模の性能を提供するスマートドライブ技術が組み込まれています。

粗加工圧力でのピーク電力要件が低減され、粗加工速度が連続的に向上します。これらのポンプにより、ユーザーは性能エンベロープに対処し、粗加工性能または大容量チャンバの真空引き能力が重要な特殊用途にも対応できます。

強化されたバージョンでは、初回ポンプダウン時のピーク電力要件が最大20%低減されます。つまり、大容量チャンバをポンプダウンしても性能が低下することはありません。

これらの粗加工圧力では最大25%のポンプ速度が向上し、より高い周波数サイクル用途にも役立ちます。

VSDの利点!

  • ベアリングシールド:プロセスガスと軸受潤滑剤を確実に分離することで、クリーンな真空を確保し、プロセスガスにより潤滑剤が汚染されることもなくなるため、軸受寿命を延長することができます。
  • スマートモータードライブ:グローバルで一貫した性能、ポンプの過負荷保護リモートスタート/ストップ機能を実現します。
  • 高流量ガスバラスト:最大240 GH-1で水蒸気を含む蒸気をポンピングできます
  • シンプルな片面スクロール設計:メンテナンスを数分で完了できるため、所有コストを削減し稼働時間を最大限高めることができます。

nXDSドライスクロールポンプ

Edwards nXDS15iスクロールポンプ

Edwards nXDS15iスクロールポンプ

ポンプ速度の向上と、より低い最高圧力、低消費電力、および他のポンプよりも低いノイズレベルを実現します。

nXDSポンプは、完全にフィールドサービス可能な設計です。

そのインテリジェントコントロール機能と最大5年のサービス間隔により、所有コストが低く抑えられ、今日の先進技術の中で最も選ばれる小型ドライポンプです。

オンボードポンプコントローラでは、次のことが可能です。

  • 自動選択機能付きの電圧入力の各種シリーズ。
  • スタンバイスピード制御ボタンを備えた使いやすい手動制御ボタンにより、プロセスを効率的に調整できます 
  • ...そしてリモートコントロールインターフェイスを使用することで、操作が簡単になります。

nXDSは、スクロール真空技術を次のレベルに引き上げます。

性能の向上、卓越したポンプ性能、静かな運転、および整備間隔の延長により、nXDSは究極のドライな選択となります!

nXDSを選択する理由は何ですか?

  • 使用中の静音性:低騒音レベル52 dB(A)のnXDSは、作業環境の改善と環境への影響の低減を実現します。
  • 操作が簡単:インテリジェントで使いやすいコントロール
  • 汚染がなく、廃棄するオイルもありません:ポンプは潤滑剤と汚染のない真空用に密封されています
  • メンテナンス間隔が長く、消費電力が少ないため、所有コストが低くなります
  • 優れた蒸気処理により迅速な処理が可能なため、xXDSはさらに幅広い用途に適しています!

用途:

質量分析 電子顕微鏡 サンプル準備 研究開発
  • GCMS
  • LCMS
  • ICPMS
  • MALDI
  • RGA
  • 表面科学
  • リークディテクタ
  •  TEM
  • SEM
  • サンプルコーター
  • ゲルドライヤ
  • グローブボックス
  • 回転エバポレータ
  • 遠心分離機
  • チャンバの排気
  • コーティングシステム
  • ターボポンプバッキング
高エネルギー物理学 産業 化学
  •  ビームライン
  • 加速器
  • 移動式ポンプカート
  • ターボポンプバッキング
  • レーザー排出
  • ガスの回収と再循環
  • グローブボックス
  • ブレーキラインおよび空調排気
  • コーティングシステム
  • フリーズドライ
  • ガスボトルを充填/排出
  • 冷媒システムメーカー
  • 脱気/硬化(オイル、エポキシ樹脂)
  • ゲルドライヤ
  • グローブボックス
  • 回転エバポレータ
  • 遠心分離機
  • 溶媒回収
  • 蒸留/抽出/ろ過

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