半導体ドライポンプ

真空イノベーションにおけるグローバルベンチマーク

トータルコストを抑えながらより環境にやさしく信頼性も向上

iXM省エネルギードライポンプは、最も重要なアプリケーションにおいて稼働時間の増加、環境負荷の低減、およびコスト面でのメリットをもたらし、プロセスを改善します。

  • エネルギー効率の良いルーツメカニズムにより入力電力を最大60%削減し、環境負荷とTCOを削減できます。
  • ガスバリア技術と熱設計の改善により、以前のシリーズの4倍の耐食性を実現
  • 高度な粉体処理機能により、多層エッチングプロセスの信頼性とポンプ寿命を最大化し、CVDプロセスの消費電力を削減します。
  • 非常に低いノイズと低振動を再現した、コンパクトで軽量なデザインにより、より多くの用途に対応できます。
  • 耐食性の強化のためにXcedeテクノロジーを使用できます。

iXHドライポンプの製品群では、過酷なプロセス処理能力、信頼性およびメンテナンスコスト削減の新しいスタンダードを打ち立てています。

  • 温度設定範囲が広いため、凝縮や製膜による副生成物の堆積を最小限に抑えるようポンプの温度を最適化できます。
  • iXH Mk2ドライポンプは、最も過酷なプロセスでさらにメンテナンスサイクルを延長し、電力効率を大幅に改善することができます。
  • 革新的なポンプシール技術により、プロセス寿命を延長し、リークのリスクを低減できます。
  • 耐食性の強化のためにXcedeテクノロジーを使用できます。

iXLシリーズは、ウェーハ搬送、PVD、計測機器などのライトデューティー向けの省エネルギーのコンパクトドライポンプです。

  • チャンバーの高速排気と非常に低い消費電力 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小かつ最も静かなポンプです。 
  • iXL600MおよびiXL1000Mタイプはプロセス強化され、絶縁体(酸化物)エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別に設計されています。 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、高い排気速度と低エネルギー消費が特徴
  • iXL900Rは、FPDロードロック用途向けにおいて、クラス最速のロードロックポンプです。この新しいポンプを使用することで顧客はランニングコストと設置時間を大幅に削減できます。PVD 用の大型ロードロックチャンバに最適です。さらに、ロードロックチャンバーあたり必要なポンプの数が少なくなるため、設置時間、システム化コスト、保守およびユーティリティの消費が削減されます。
  • グリーンモードを使用すると、アイドリング期間のユーティリティ使用量を低減し、ランニングコストの削減と環境負荷の低減を実現します。