半導体ドライポンプ

真空イノベーションにおけるグローバルベンチマーク

トータルコストを抑えながらより環境にやさしく信頼性も向上

iXM低エネルギードライポンプは、稼働時間の増加、環境への影響の低減、および最も重要な用途のコスト上のメリットにより、貴社に本当のプロセス改善をもたらします。

  • エネルギー効率の良いルーツメカニズムにより入力電力を最大60%削減でき、環境への影響と所有コストを低減できます。
  • ガスバリア技術と熱設計の改善により、以前のシリーズの4倍の耐食性を実現
  • 高度な粉体処理機能により、多層エッチング処理の信頼性を最大化してポンプ寿命を延長し、CVDプロセスの電力消費を削減すします。
  • コンパクトで軽量な設計がまれにみる低ノイズと低振動と相まって、貴社により大きな汎用性をもたらします
  • 耐食性の強化のためにXcedeテクノロジーを使用できます。

iXHドライポンプの製品群では、過酷なプロセス処理能力、信頼性および維持コスト削減のための新しいスタンダードを打ち立てています。

  • 温度範囲が広いため、凝縮とめっきによる副産物の蓄積を最小限に抑えるようポンプを最適化できます。
  • iXH Mk2ドライポンプは、最も過酷なプロセスでさらに耐用年数を延長し、電力効率を大幅に改善することができます。
  • 革新的なポンプシール技術により、プロセス寿命を延長し、リークのリスクを低減できます。
  • 耐食性の強化のためにXcedeテクノロジーを使用できます。

iXLシリーズは、ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーのコンパクトドライポンプです。

  • チャンバーの高速排気と非常に低い電力使用 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、ライトデューティー用途向けの最小かつ最も静かなポンプです。 
  • iXL600MおよびiXL1000Mタイプはプロセス強化され、絶縁体(酸化物)エッチングおよび他の同様のアプリケーション向けに特別に設計されています。 
  • iXL600 (N) およびiXL1000 (N) ドライポンプは、高い排気速度と低エネルギー消費が特徴
  • iXL900Rは、FPDロードロック用途向けのクラスでは現在な最速のロードロックポンプです。この新しいポンプを使用することで顧客は運用コストと設置時間を大幅に削減でき、プラズマ蒸着 (PVD) 用途に使用される最大のロードロックチャンバに特に適しています。さらに、ロードロックチャンバーあたり必要なポンプの数が少なくなるため、設置時間、システム化コスト、保守およびユーティリティの消費が削減されます。
  • グリーンモードを使用すると、アイドリング期間のユーティリティ使用量を低減し、コストを削減しながら環境パフォーマンスを向上できます。