1. Edwards
  2. 当社の市場
  3. 半導体
  4. 極低温学
  5. クライオチラー

クライオチラー

真空生成の時間と品質の両方を改善する極低温冷却システム

クライオチラーとクライオクーラー

EdwardsがPolycoldチラーを温かく迎える理由は次のとおりです。 

クライオチラーは、最大4,000ワットの冷却を提供する閉ループ極低温冷凍システムです。これらを使用して、真空プロセス内で水蒸気やその他の凝縮性物質を捕捉し、真空生成の時間と品質の両方を大幅に改善できます。Polycold製品は、半導体製造で使用される静電チャックの冷却や、信号キャプチャを改善するための各種センサー技術の冷却などの直接冷却用途でも使用可能です。

特徴：

  • モデルは630〜800ワットの冷却を提供 
  • -100°C以下までの温度が可能 
  • 連続冷却の定格 
  • 圧縮乾燥空気を再循環 
  • 自動充填 
  • CE、SEMI F47 & SEMI S2に準拠 
  • 冷媒ガスは、米国EPA-SNAP承認済み、CFC不使用、HCFC不使用であり、EUの法律に適合 •信頼できる性能 
  • 長寿命、低またはメンテナンス不要

クライオチラーとクライオクーラー

  • © 2020 Copyright. All rights reserved.