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EdwardsのPolycoldクライオチラーシリーズ

Polycoldクライオチラー

真空生成の時間と品質の両方を改善する極低温冷凍システム

クライオチラーとクライオクーラー

Polycoldクライオチラーは、最大4,000ワットの冷却が可能な閉ループ極低温冷凍システムです。このシステムにより、真空プロセス内で水蒸気やその他の凝縮性物質を捕捉し、真空生成の時間と品質の両方を大幅に改善できます。Polycold製品は、半導体製造で使用される静電チャックの冷却や、信号キャプチャを改善するための各種センサー技術の冷却などの直接冷却用途にも使用可能です。

 

主な機能

  • 冷却能力100~4000ワットのモデルをご用意 
  • 温度範囲は-203~-98℃ 
  • 定格連続冷却 
  • CE、SEMI F47、SEMI S2に準拠
  • 冷媒ガスは、US EPA-SNAP承認済み、CFCフリー、HCFCフリー、EUの法律に適合
  • 信頼できる性能 
  • 長寿命で低保守または保守不要