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Edwardsプロセスガスアナライザ - 半導体用途のリアルタイムなプロセス制御
iTrap®はコンパクトかつ高感度なイオントラップ型フーリエ変換式質量分析計です。プロセス分析やインライン処理制御に最適なツールであり、研究&開発やプロダクション環境においてご使用いただけます。信頼性の高いiTrapが、反応副産物や汚染物質の微小な痕跡を検知して、お客様をサポートします。また、清浄度の有効性の調査や、チャンバの衛生状態の分析にも役立ちます。質量スペクトルは、ほぼリアルタイムで測定されます。プロセスチャンバ内のきわめて少量の微粒子を突き止めることができます。iTrapは研究者やプロセス開発エンジニアにとって頼もしいツールであり、他のプロセスツール機器に統合して制御可能なインテリジェントセンサーとして使用することもできます。
メリット
Edwards iTrapの特長：
- スピード - リアルタイム（0.5秒未満）でフルスペクトルの測定が可能
- 感度 | 微量濃度測定
- コンパクト性能 - プロセスチャンバとの一体化が可能。無関係な化学物質に対応するソフトウェアインターフェースを標準搭載。
- 腐食に対する堅牢性 - 不活性表面を採用、検出器なし。H2、CI、F、その他強力な化学物質への耐性
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