システムのスループットとプロセスの生産性を向上
さまざまな真空プロセス用途で最適な生産性を実現するには、高い水の排気速度が必要です。
Edwards CTI-Cryogenics On-Board® ISシングルステージクライオポンプは、ターボポンプの水の排気速度を大幅に向上し、移送、インライン、またはプロセスチャンバ用途で使用される場合でも、システムスループットとプロセス生産性が大幅に向上します。
また、高い水の排気速度により、多岐にわたる真空プロセスで最終製品の品質が向上し、全体的な歩留りが改善され、生産自体の廃棄物とコストが大幅に削減されます。
On-Board® ISシングルステージクライオポンプは、ほとんどのアプリケーション要件を満たすようにさまざまな構成で設計されています。インラインでもインサイチュでも両方に対応し、さまざまなサイズが用意されています。
主な機能
- 16,000リットル/秒を上回る水蒸気排気速度により、幅広い用途でプロセス品質を向上し、サイクルタイムを低減します
- さまざまな炭化水素ガス汚染物質を排気し、最終製品の欠陥を低減しながら、ターボポンプの5～10倍の速度で不純物を排出します
- ロードロック、トランスファまたはプロセスチャンバ内で使用して、ターボポンプの水蒸気排気速度が8倍向上します
- On-Board®クライオポンプシリーズで最も低い振動
- 大型のコンプレッサを近くに設置する必要としないため、低コストで最小限の設置面積で動作し、多くの場合、既存のヘリウムシステムで動作します
- ユーザーの要件に合わせて、さまざまなサイズのインラインまたはインサイチュで利用できます
- 設置が簡単
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