さまざまな真空プロセス用途で最適な生産性を実現するには、高い水の排気速度が必要です。
Edwards CTI-Cryogenics On-Board® ISシングルステージクライオポンプは、ターボポンプの水の排気速度を大幅に向上し、移送、インライン、またはプロセスチャンバ用途で使用される場合でも、システムスループットとプロセス生産性が大幅に向上します。
また、高い水の排気速度により、多岐にわたる真空プロセスで最終製品の品質が向上し、全体的な歩留りが改善され、生産自体の廃棄物とコストが大幅に削減されます。
On-Board® ISシングルステージクライオポンプは、ほとんどのアプリケーション要件を満たすようにさまざまな構成で設計されています。インラインでもインサイチュでも両方に対応し、さまざまなサイズが用意されています。
