PVD Deposition at Kolzer
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エドワーズGXSドライスクリュー真空ポンプにより、効率を高め、排出ガスを削減
メリット
- エネルギー消費と排出ガスの削減
- デジタル管理による真空ポンプの制御とデータ分析の改善
- 高い生産性とプロセスの安定
1952年以来、イタリアのKolzer社は、持続可能なPVD、プラズマ、PECVD処理のためにインテリジェントに設計された機械で世界中の市場を支援してきました。お客様のニーズに合わせて機械を製造するKolzer社は、自動車、ファッション、照明、家具など、さまざまな分野に機械を供給しており、60ヵ国で1,300台以上の機械の製品ラインナップを提供しています。
同社の機械は、主にPVDスパッタリング、メタライゼーション、プラズマ、PECVD、PVD 2.0プロセスなどのプロセスに焦点を当てており、金属、合金、ポリマー、プラスチック、木材、ガラスなど、あらゆる種類の表面に対して効果的なコーティングを実現しています。生産性と耐久性に優れた同社の機械により、お客様は、低い運転コストで生産サイクルを迅速に達成できます。エドワーズとKolzer社は、60年代にまで遡る長年にわたる協力関係を築いています。私たちの強固なパートナーシップは、品質、信頼性、そして市場をリードする真空成膜装置の開発を支える確かなサポートへの相互コミットメントに根ざしています。
エドワーズとの協力により、同社の真空ポンプのおかげで当社の生産プロセスを改善することができ、エネルギー効率と機械のプロセス安定性を確保しました
課題
真空性能は、これらの物理蒸着プロセスおよびコーティング機のサイクルタイム、機械の生産性、およびプロセスの安定性に直接影響します。
これらは、プロセスチャンバー内で使用され、プロセスと製品の品質に影響を与える重要なコンポーネントです。お客様の要件と業務目標を満たすために、Kolzer社では、次のことを実現できるさまざまな真空製品を必要としていました：
- プロセス全体の制御の改善
- 高速排気速度とサイクルタイムの短縮
- 低い運転コスト
- エネルギー効率に優れたプロセスと排出ガスの削減
- 最終製品の品質改善
ソリューション
Kolzer社の真空ニーズのさまざまな側面を検討した後、エドワーズは、ドライスクリュー真空ポンプGXS 750-4200およびGXS 450-2600を提案しました。
サステナビリティとクリーン技術がKolzer社の特徴であることから、当社の業界をリードするドライポンプ技術は、適切なレベルの真空性能、圧力値、低エネルギー消費を提供しました。ポンプの排気速度が速いほどサイクルタイムが短縮され、その結果、運転コストが削減されました。当社のGXSとその真空品質により、機械は最終製品で非常に高い品質を達成することができます。インテリジェントなオイルフリー設計により、頻繁な清掃が削減され、メンテナンスと組立が容易になりました。
制御に関しては、デジタル管理システムにより、プロセス自体（最適な蒸着条件を作成するためのチャンバー排気から構成）の監視が向上し、新開発のための全データの分析が可能になりました。
当社とエドワーズの協力関係は、1960年代に始まりました。エドワーズ製品の品質と信頼性のおかげで、協力関係を維持することは自然な選択でした。
結果
世界市場向けに信頼性に優れたPVDおよび真空コーティング機を開発してきたKolzer社の歴史を通じて、クリーンで持続可能なソリューションを提供することは、将来のお客様にとっても基本的な要件です。
GXSの信頼性の高い真空性能により、最終製品の品質が向上しました。
Kolzer社は、エドワーズのさまざまな真空ポンプとソリューションをプロセスに追加することで、より効率的な運転が可能になっただけでなく、高度なドライポンプ技術により、環境への影響を低減するという使命に忠実であり続けることができました。
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