Uno Strumento in piu' per l'analisi e la determinazione delle anomalie dei processi a semiconduttori
Analizzatore dei gas di processo Edwards: controllo del processo in tempo reale per le applicazioni nei semiconduttori
iTrap® è uno spettrometro di massa a trasformata di Fourier compatto e con trappola ionica altamente sensibile. Si tratta di uno strumento ideale per l'analisi di processo e il controllo dei processi in linea. Può essere utilizzato negli ambienti R&D e di produzione. iTrap consente di rilevare in modo affidabile le più piccole tracce di sottoprodotti di reazione o di contaminazione e di analizzare l'efficacia degli agenti pulenti e lo stato della camera. Uno spettro di massa viene misurato quasi in tempo reale, ed è possibile tracciare piccole quantità di molecole all'interno della camera di processo. iTrap è uno strumento potente nelle mani di un ricercatore o di un ingegnere addetto allo sviluppo dei processi e può essere utilizzato anche come sensore intelligente integrato e controllato da altre apparecchiature per strumenti di processo.
Vantaggi
iTrap di Edwards convince grazie a fattori quali:
- Velocità | misurazioni possibili in tempo reale, spettro completo in < 0,5 sec
- Sensibilità | Misurazione di concentrazioni minime
- Compattezza | Integrabile in una camera di processo. Interfaccia software standardizzata predisposta per prodotti chimici esterni.
- Resistenza agli agenti corrosivi | Superficie inerte, senza rilevatori. Resiste a H2, Cl, F e ad altre sostanze chimiche aggressive