Pompes turbomoléculaires STP Maglev

Faibles vibrations et aucun entretien

Solutions pour chambres

Notre gamme de pompes turbomoléculaires STP Maglev offre des performances constantes et fiables et ne requiert aucun entretien. Le rotor est entièrement suspendu à l’aide de paliers magnétiques, convenant parfaitement aux applications nécessitant un temps d’utilisation élevé, un pompage sans hydrocarbures, un entretien minimal et un faible niveau de vibrations.

Modèle avancé à débit élevé

Le modèle avancé présente un débit de haut niveau, convenant parfaitement à la gravure de vos semi-conducteurs et à vos procédés CVD :

  • Faible encombrement
  • Débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s
  • Débit pouvant atteindre 6 slm et performances H2, N2 et Ar accrues

Cette pompe turbomoléculaire tout en un se passe du câble de raccordement et du rack habituellement nécessaires :

  • Faible encombrement, économies considérables sur l’immobilier, les temps et coûts d'installation
  • Réduction de la consommation énergétique de l’ordre de 32 % à débits de gaz élevés grâce à l’alimentation électrique intégrée
  • Fonctionnement à un débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s

Le modèle de vide très poussé présente des niveaux inégalés de fiabilité, de performances et de propreté, sans oublier une importante réduction des vibrations.

  • L’alimentation c.c. rend les batteries superflues
  • Contrôleur demi-rack doté de fonctionnalités de réglage automatique et de diagnostic précis
  • Vitesses allant de 300 l/s à 1 000 l/s, et pression limite <10-10 mbar de la bride CF
  • Une version « C » pour procédés difficiles est également disponible

La version de vide très poussé à faibles vibrations comprend toutes les fonctionnalités du modèle de vide très poussé, ainsi qu’un support antivibratoire intégré pour réduire au maximum les vibrations.