Pompes turbomoléculaires STP Maglev

Peu de vibrations et sans maintenance

Solutions pour chambres de vide

Notre gamme de pompes turbomoléculaires STP Maglev offre des performances constantes et fiables et ne requiert aucun entretien. Le rotor est entièrement suspendu à l’aide de paliers magnétiques, convenant parfaitement aux applications nécessitant un temps d’utilisation élevé, un pompage sans hydrocarbures, un entretien minimal et un faible niveau de vibrations.

Modèle avancé à haut débit

Le modèle avancé offre des niveaux de débit élevés, parfaits pour vos procédés semi-conducteurs de gravure et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :

  • Faible encombrement
  • Débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s
  • Débit pouvant atteindre 6 slm et des performances accrues pour H2, N2 et Ar 

Cette pompe turbomoléculaire tout en un se passe du câble de raccordement et du rack habituellement nécessaires :

  • Faible encombrement, gain de place dans vos unités de production, économies considérables de temps et coûts d'installation
  • L'alimentation électrique embarquée réduit la consommation d'énergie jusqu'à 32 % en cas de flux de gaz élevés 
  • Fonctionnement à un débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s

La série Ultra Vide offre une fiabilité, des performances et une propreté inégalées, ainsi que des niveaux de vibration très bas, qui sont les meilleurs de leur catégorie.

  • Pas besoin de piles grâce à l’alimentation d.c. courant continue 
  • Contrôleur demi-rack doté de fonctionnalités de réglage automatique et de diagnostic précis
  • Vitesses allant de 300 l/s à 1 000 l/s, et pression limite <10-10 mbar de la bride CF
  • Une version « C » pour procédés difficiles est également disponible

La version "Ultra High Vacuum Low Vibration “ intègre toutes les fonctionnalités de la série Ultra High Vacuum, plus un   support antivibratoire intégré pour réduire au maximum les vibrations.

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