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Solutions pour chambres

Si vous avez besoin de performances constantes et fiables, sans aucun entretien, notre gamme de pompes turbomoléculaires STP Maglev est devenue le standard de sa catégorie. Le rotor est entièrement suspendu par des paliers magnétiques, ce qui en fait la solution idéale pour les applications exigeant un temps de fonctionnement élevé, un pompage sans hydrocarbures, un entretien minimal et de faibles vibrations.

Modèle avancé à débit élevé

Le modèle avancé présente un débit de haut niveau, convenant parfaitement à la gravure de vos semi-conducteurs et à vos procédés CVD :

  • Faible encombrement
  • Débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s
  • Débit pouvant atteindre 6 slm et performances H2, N2 et Ar accrues

  • Contrôleur et alimentation électrique entièrement intégrés
  • UHV - Vide ultra-élevé
  • Modèle pour vide très poussé à faibles vibrations
Contrôleur et alimentation électrique entièrement intégrés

Cette pompe turbo tout-en-un se passe du câble de connexion et du rack habituellement nécessaires :

  • Réduction de l'empreinte carbone, et économies considérables sur l'immobilier, le temps d'installation et les coûts
  • Réduction de la consommation énergétique pouvant atteindre 32 % à des débits de gaz élevés grâce à l'alimentation électrique intégrée
  • Fonctionnement à un débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s
UHV - Vide ultra-élevé

Le modèle de vide très poussé présente des niveaux inégalés de fiabilité, de performances et de propreté, sans oublier des seuils de vibrations très bas :

  • L'alimentation D.C. rend les batteries superflues
  • Contrôleur demi-rack doté de fonctionnalités de réglage automatique et de diagnostic précis
  • Vitesses allant de 300 l/s à 1 000 l/s, et pression limite < 10-10 mbar de la bride CF
  • Une version « C » pour procédés difficiles est également disponible
Modèle pour vide très poussé à faibles vibrations

La version UHV à faibles vibrations comprend toutes les fonctionnalités de la série, ainsi qu'un support antivibratoire intégré pour réduire au maximum les vibrations.

Cette pompe turbo tout-en-un se passe du câble de connexion et du rack habituellement nécessaires :

  • Réduction de l'empreinte carbone, et économies considérables sur l'immobilier, le temps d'installation et les coûts
  • Réduction de la consommation énergétique pouvant atteindre 32 % à des débits de gaz élevés grâce à l'alimentation électrique intégrée
  • Fonctionnement à un débit allant de 300 l/s à 4 500 l/s

Le modèle de vide très poussé présente des niveaux inégalés de fiabilité, de performances et de propreté, sans oublier des seuils de vibrations très bas :

  • L'alimentation D.C. rend les batteries superflues
  • Contrôleur demi-rack doté de fonctionnalités de réglage automatique et de diagnostic précis
  • Vitesses allant de 300 l/s à 1 000 l/s, et pression limite < 10-10 mbar de la bride CF
  • Une version « C » pour procédés difficiles est également disponible

La version UHV à faibles vibrations comprend toutes les fonctionnalités de la série, ainsi qu'un support antivibratoire intégré pour réduire au maximum les vibrations.

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