23. ledna 2019
Nové přístupy k problematice vakua a snižování zátěže nám pomáhají zavádět nové, složitější čipové technologie a produktivnější výrobní celky.
Na veletrhu SEMICON® v Koreji letos společnost Edwards představí inovativní řešení, která pomáhají výrobcům čipů udržet si konkurenceschopnost na dnešním náročném a rozmanitém trhu. Rostoucí poptávka po komplexnějších návrzích v menších technologických uzlech vedla k vytvoření řady různých procesů při výrobě polovodičů, které využívají širokou škálu technologických přístupů a materiálů – to vše se při zavádění opírá o nové metody vakua a odtahu.
Společnost Edwards letos slaví 100 let technologických inovací. Během veletrhu SEMICON v Koreji budou představeny nové přístupy k inovacím, produktivitě a bezpečnosti ve dvou prezentacích:
- „Prekurzory CVD a související vedlejší produkty – zajištění maximální produktivity komory“ přednese Al Brightman, Senior Product Manager ve společnosti Edwards. Tato prezentace představí optimální vakuová řešení určená pro snižování prostojů zařízení a zvýšení produktivity ve výrobě. Kromě toho lze výrazně snížit zdravotní a bezpečnostní rizika (středa 23. ledna, místnost 308). – „Realizace 3D a High-aspect Ratio leptacích technologií s využitím procesního vakua On Chamber“ přednese Adam Stover, aplikační manažer ve společnosti Edwards. Prezentace bude pojednávat nejen o tradičních problémech čerpání a osvědčených řešeních, ale také o nových snahách, které by mohly potenciálně vést ke komplexnějším 3D NAND, DRAM a dalších struktur zařízení (čtvrtek 24. ledna, místnost 307).
Na svém stánku (D104) představí společnost Edwards novou generaci oblíbené suchoběžné vývěvy iXH, která je speciálně navržena pro manipulaci s kondenzátními plyny. Nabízí vyšší teplotní kapacitu pro náročné procesy.„Bezpečné a účinné řízení procesního odsávání je dnes stále důležitější otázkou, zejména v souvislosti se zpřísňováním emisních limitů po celém světě,“ řekl Jason Yun, generální ředitel společnosti Edwards Korea. „Současně se prostřednictvím pokročilých technologií zavádějí nové materiály a procesy, které představují výzvy, protože každý z nich vyžaduje optimalizované řešení pro vakuum a odtah. Například naše vývěva iXH další generace je speciálně navržena tak, aby se bránilo hromadění kondenzovaných materiálů uvnitř vývěvy.“ Jason Yun dodává: „Vzhledem k tomu, že společnost Edwards letos oslavuje 100. výročí existence, těšíme se na další úzkou spolupráci se zákazníky při vytváření řešení, která jim umožní inovovat.“Navštivte společnost Edwards na stánku D104 během veletrhu SEMICON v Koreji, kde se dozvíte více o řešeních pro podřízené výroby a o službách s přidanou hodnotou. Veletrh SEMICON v Koreji se koná 23.-25. ledna v COEX v korejském Soulu.