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真空測量

為了有效率地控制和監控製程,真空計對任何真空系統而言都相當關鍵,因此,針對您的特定需求,做出正確的選擇至關重要。

  • 分析:我們的主動式真空計經長年實證可靠,能在組建複雜系統時讓您安心無憂。我們的數位版本 (nAPG/nAIM/nWRG) 佔地面積和類比式版本相同,因此讓升級變得簡單無比。
  • 工業:嚴苛製程的需求往往難以得到滿足。然而,我們的標準真空計備有專屬的工業/抗腐蝕機型,以及工業目標產品 (例如 ASG2),我們依然能滿足您持續測量系統的需求。 
  • 半導體:愛德華向來是許多半導體大廠客戶的可靠合作夥伴。我們的 APG100 系列相當適合用於監控前級/一般壓力,而全新的 Barocel 7000 電容式壓力計產品系列,現在可支援您需要高精確度和速度的製程作業。
  • 研發:當專案內容越來越深入 UHV 時,請務必測量環境。我們的被動式真空計具備領先市場的測量範圍,在耐受輻射的同時,測量範圍更可低至 2e-12mbar。
  • 服務:我們的可攜式計量在周遭沒有電源供應器的情況下仍可進行系統現場檢測,確保在將泵浦重新連接至更廣泛的網路前已順利完成維修。我們也可以在校準實驗室校準所有類型的真空計,協助確保您的運作流程最佳化。