Турбомолекулярный насос представляет собой многоступенчатую турбину с осевым направлением потока, в которой вращающиеся с высокой скоростью лопатки обеспечивают сжатие за счет увеличения вероятности перемещения газа в направлении откачки. Турбомолекулярный насос оптимизирован для работы с молекулярным потоком и требует использования форвакуумного насоса соответствующего типоразмера для вывода газов в атмосферу.
Турбомолекулярные насосы nEXT созданы на базе отлично зарекомендовавших себя на практике насосов серий EXT и STP.
Они обеспечивают превосходную производительность, надежность и удобство эксплуатации для конечного пользователя. Это эталон турбомолекулярных насосов для научных исследований.
Серия nEXT объединяет в себе все последние технологические достижения в области турбомолекулярных насосов и предлагает размеры насосов со скоростью откачки азота 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 и 1250 л/с. Эти насосы обеспечивают простое обслуживание и являются лучшими в своем классе.
nEXT55 и nEXT85 являются самыми компактными в серии nEXT, поскольку имеют значительно уменьшенную высоту и обеспечивают повышенную производительность в более компактном корпусе. Скорость откачки азота этих насосов составляет 55 и 85 л/с. Они предлагают самую высокую плотность откачки в своем классе, почти в два раза выше, чем у турбомолекулярных насосов аналогичного размера.
nEXT240, nEXT300 и nEXT400 являются эталоном турбомолекулярных насосов для научных исследований, поскольку они созданы на основе многолетнего опыта и наших проверенных и надежных линеек EXT и STP. Вместе с этими давно зарекомендовавшими себя моделями мы предлагаем широкий выбор размеров и опций, предоставляя производителям оборудования и конечным пользователям более широкий выбор и гибкость в подборе наиболее подходящего вакуумного решения в соответствии с их индивидуальными потребностями.
Компания Edwards расширила линейку ведущей на рынке платформы nEXT более крупными насосами nEXT730 и nEXT930, которые обеспечивают скорость откачки азота более 730 л/с и 925 л/с соответственно. Теперь мы также добавили в линейку модель nEXT1230 со скоростью откачки азота 1250 л/с. Эти компактные насосы могут работать в любом положении, кроме того, для них доступен полный набор принадлежностей для охлаждения, вентиляции, питания и управления.Эти насосы не только подходят для общего применения в научно-исследовательских работах, где может требоваться повышенная скорость откачки, но и отвечают потребностям рынка нанесения покрытий и многих других отраслей, таких как термообработка, эксплуатация печей, электронно-лучевая сварка, травление, дегазация и откачка баллонов.
| nEXT55 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| Впускной фланец | DN63 ISO-K или DN63CF | DN40 | DN63 ISO-K или DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K или DN100CF | DN100 ISO-K или DN100CF | DN160 ISO-K или DN160-CF | |
| Скорость откачки на входе, л/с | N2 | 55 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 55 | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 41 | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 27 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| Степень сжатия (D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
| Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
| He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | ||||
| H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | ||||
| Степень сжатия (T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | ||||
| He | 1 x 106 | 3 x 106 | > 1 x 108 | |||||
| H2 | 1,5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 | |||||
| nEXT730D | nEXT930D | nEXT1230 | |||||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | DN 200 CF | DN 200 ISO-F | DN 200 ISO-K | |
| Скорость откачки на впуске |
|||||||
| N2, л/с | 730 | 925 | 1250 | ||||
| He, л/с | 820 | 905 | 1150 | ||||
| H2, л/с | 715 | 735 | 1350 | ||||
| Ar, л/с | 665 | 865 | 1150 | ||||
| Максимальная степень сжатия от форвакуумного порта к впускному отверстию | |||||||
| N2 | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
| He | 1.2X108 | 1.2X108 | 4 x 108 | ||||
| H2 | 4X106 | 4X106 | 1 x 107 | ||||
| Ar | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
| Предельное остаточное давление (мбар) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | <5 x 10-10 | укажите более высокое давление для ISO-K и ISO-F | |||
| Масса (кг) | 14,6 | 19,6 | 15.4 | 21,7 | 32,6 | 24,9 | 23,7 |
| Производительность на полной скорости: | |||||||
| N2 | 14 | 14 | 12 | ||||
| He | 21 | 21 | <20 | ||||
| H2 | >14 | >14 | <20 | ||||
| Ar | 3,5 | 3,5 | 4 | ||||
