Bombas a seco para semicondutores

As bombas a seco da série Edwards iXM de baixo consumo de energia podem trazer melhorias reais no processo com maior tempo de atividade, menor impacto ambiental e benefícios de custo para suas aplicações mais críticas.

• O mecanismo roots com eficiência energética pode reduzir a potência de entrada em até 60%, reduzindo o impacto ambiental e o custo de propriedade
• A tecnologia de barreira de gás e as melhorias no design térmico permitem quatro vezes maior resistência à corrosão do que nossa série anterior
• Os recursos avançados de manuseio de pó oferecem máxima confiabilidade e vida útil da bomba estendida para processos de gravação em várias camadas 
• Consumo de energia reduzido para processos de CVD
• O design compacto e leve, combinado com ruídos e vibrações excepcionalmente baixos, oferece mais versatilidade
• A série iXM está disponível com a tecnologia XCEDE para maior resistência à corrosão.
  
   

A linha de bombas a seco iXH define novos padrões para capacidade de processos adversos, confiabilidade e menor custo de propriedade.

• A ampla faixa de temperatura permite que você otimize a bomba para acúmulo mínimo de subprodutos da condensação e da galvanização
• As bombas a seco iXH Mk2 proporcionam uma vida útil ainda mais longa nos processos mais difíceis e podem fornecer melhorias significativas na eficiência energética
• A tecnologia inovadora de vedação de bomba pode prolongar a vida útil do processo e reduzir seus riscos de vazamento
• Disponível com a tecnologia XCEDE para maior resistência à corrosão.
  
   

A série IXL é uma linha de bombas a seco compactas de baixa energia para aplicações de serviços leves, como manuseamento de pastilhas, PVD e metrologia.

• Desligamento rápido da bomba da câmara e consumo de energia extremamente baixo 
• As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) estão entre as menores e mais silenciosas disponíveis para aplicações de serviços leves 
• As variantes iXL600M e iXL1000M são processos endurecidos e especialmente projetadas para corrosão dielétrica (óxido) e outras aplicações semelhantes 
• As bombas secas iXL600(N) e iXL1000(N) apresentam alta velocidade de bombeamento e baixo consumo de energia
• A iXL900R é a bomba loadlock mais rápida atualmente disponível em sua categoria para aplicações de loadlock FPD. Os clientes podem reduzir significativamente seus custos operacionais e tempos de instalação com esta nova bomba, que é particularmente adequada para as maiores câmaras loadlock usadas para aplicações de deposição de vapor de plasma (PVD). Além disso, os clientes precisarão de menos bombas por câmara loadlock, o que reduz o tempo de instalação, os custos de sistematização, a manutenção e o consumo de concessionárias.
• O Modo Verde permite a redução do uso das concessionárias durante períodos de inatividade, reduzindo custos e ajudando a melhorar o desempenho ambiental