Halfgeleiderfabriek wint meer dan 1.400 uur procesgereedschapstijd terug

De waarde van één geavanceerde halfgeleiderwafer wordt geschat op $17.000*. Stilstand van één procesinstrument alleen al kan de productie onderbreken en snel achteruitgang veroorzaken in de waferproductie, opbrengst en cyclustijd. Maximale uptime van het procesgereedschap is cruciaal voor de winstgevendheid.

Met een beperkt inzicht in de prestaties van het vacuüm- en bestrijdingssysteem en de impact ervan op de beschikbaarheid van procesapparatuur moest deze fabriek werken volgens een op tijd gebaseerde onderhoudsaanpak.

Alleen bepaald door de leeftijd en bedrijfstijd van SubFab-apparatuur, kon tijdgebaseerd onderhoud het risico op een storing niet volledig elimineren. Een grote voorraad reserveonderdelen moest snel beschikbaar zijn, wat extra druk op de toeleveringsketens uitoefende. Er werden ook onverwachte eisen gesteld aan onderhoudsteams om extra serviceondersteuning te bieden.

Correctief onderhoud duurt langer

In het geval dat het vacuüm- en bestrijdingssysteem onverwacht wordt uitgeschakeld, werd de reiniging, terugwinning en herkwalificatie van het proceshulpmiddel geschat op ten minste 500 uur gereedschapstijd per jaar. Dit cijfer werd berekend voor 75 procestools, die elk 6-7 uur extra onderhoud per onverwachte stop vergen.

Beheersing van het risico op downtime

Tijdgebaseerd onderhoud was niet voldoende als de fabriek de groei- en prestatiedoelstellingen wilde halen. Onverwachte downtime moest ten koste van alles worden voorkomen, maar zonder voldoende inzicht om snel de hoofdoorzaken van systeemproblemen te identificeren, was meer routineonderhoud de enige optie.

De Fab kreeg de uitdaging om de juiste technische expertise in de SubFab in te zetten, en als gevolg daarvan groeide de frustratie tussen de cleanroom- en SubFab-teams, wat leidde tot inconsistente communicatie en een gebrek aan gegevensuitwisseling.

6-7 uur extra onderhoud per storing: correctief onderhoud = 18 uur vs. gepland onderhoud = 11,5 uur

Op zoek naar een effectievere en nauwkeurigere methode om het risico op downtime te elimineren, heeft deze faciliteit onze hulp ingeroepen.

*Bron: RAPPORT van het Centre for Security and Technology (CSET), 2020