De SEMI S30-richtlijn voor energetische materialen en veiligheid in de SubFab
De SubFab-omgeving, de technische ruimte waarin alle apparatuur is ondergebracht om de cleanroom van een Fab operationeel te houden, kan gevaarlijk zijn. Een van de risico's zijn energieke materialen, een bijproduct van sommige halfgeleiderprocessen.
VIDEO EN TRANSCRIPTIE
Wat zijn energierijke materialen in productieprocessen voor halfgeleiders?
Energetische materialen zijn chemicaliën die gevaarlijk exotherm, pyrofor, of waterreactief zijn. Met andere woorden: al deze stoffen slaan grote hoeveelheden energie op, die snel en ongecontroleerd kunnen vrijkomen, geïnitieerd door thermische of mechanische acties of schokgolven.
De risico's van energetische materialen beperken: de SEMI S30-richtlijn
De SEMI S30-richtlijnen zijn de reeks veiligheidscriteria voor de aanschaf, opslag, hantering en het gebruik van energiehoudende materialen in R&D en productieprocessen voor halfgeleiders. De richtlijn is een minimale reeks veiligheidsmaatregelen en is van toepassing op elke fase van het proces, van de toevoer van chemicaliën tot de bestrijding.
Steve Cottle, Senior Applications Manager bij Edwards, introduceert de SEMI S30-veiligheidsrichtlijn en legt uit waarom de richtlijnen zo belangrijk zijn in de halfgeleiderindustrie.
Waarom is de SEMI S30-richtlijn belangrijk in de SubFab?
Veel processen in de productie van halfgeleiders maken gebruik van reactieve chemie. De chemicaliën die voor het proces worden gebruikt, zijn dus energierijke materialen en soms ook de bijproducten van het proces. Er bestaat altijd een risico op explosie of brand als deze materialen niet correct worden behandeld. Daarom helpen de SEMI S30-richtlijnen om de veiligheid van personeel en installaties in SubFab-faciliteiten te garanderen.
Hoe kan een halfgeleiderfabrikant de veiligheid van de SubFab garanderen?
De tijd heeft ons geleerd dat de SubFab nog gevoeliger is voor incidenten dan de cleanroom, waar de waferproductie plaatsvindt. De veiligheid van SubFab moet vanaf het begin een aandachtspunt zijn, wanneer de systemen en installatie worden ontworpen en in bedrijf worden gesteld. Het begint dus allemaal met de juiste keuze van vacuüm- en uitlaatbeheersystemen van de hoogste kwaliteit en het meest geschikte ontwerp.
De ervaring leert dat de veiligste methode voor het ontwerpen van een vacuüm- en bestrijdingssysteem bestaat uit eigen vacuümmodelleringssoftware en technologietests. Onze Edwards-teams van wereldwijde toepassingsspecialisten beschikken over de expertise om dergelijke installaties te ontwerpen, testen en verfijnen.
De vacuüm- en uitlaatbeheersystemen van Edwards hebben hun waarde bewezen in diverse processen met energierijke materialen en we controleren hun prestaties nauwgezet. Tot nu toe voldoen al deze installaties aan de bedoeling van alle relevante paragrafen van de SEMI S30-richtlijn.
Bij het ontwerpen van een SubFab moet je niets aan het toeval overlaten. Door de SEMI S30-richtlijn als basis te gebruiken en de knowhow van Edwards toe te passen om de meest geschikte installaties te ontwerpen, kunnen we de veiligste SubFabs ter wereld bouwen.
Steve Cottle
Senior applicatiemanager
