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Edwards 크라이오 펌프의 응용

크라이오 펌프

월등한 성능 및 향상된 도구 가동 시간

신뢰성과 성능의 세계적인 표준

Edwards의 최첨단 개발연구를 거쳐 탄생한 크라이오 펌프부터 반도체, 평면 패널, 광학 기기 제조까지 다양한 분야에서 사용되는 복잡한 크라이오 펌프 시스템까지, CTI-Cryogenics는 극저온 고진공 기술의 세계적인 표준을 제시합니다.

주요 특징

  • Fast Regen™ 기능으로 재생 간에 크라이오 펌프 성능 연장
  • 동시 재생 기능은 크라이오 펌프 네트워킹으로 구현되며, 전체 시스템 재생 속도 향상
  • 내장 마이크로프로세서 컨트롤이 성능을 높이고 진단 루틴을 수행하며 통신 기능 제공
  • 정교한 소프트웨어와 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스로 성능과 운영 개선

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