Edwards의 혁신적인 건식 펌프 제품군은 여러분께 반도체 및 전자제품 제조 환경을 강화하기 위해 설계된 최첨단 기술을 공급합니다. 각 제품군은 환경 성능, 가혹한 환경에서의 신뢰성, 경량 어플리케이션에서의 민첩성과 같은 분야에서 장점을 보이도록 특별히 고안되었습니다.
iXM 저에너지 건식 펌프는 여러분의 가장 중요한 어플리케이션에 더 길어진 작동 시간, 감소된 환경 영향 및 비용 혜택을 통해 공정에 실질적인 개선을 가져올 수 있습니다.
iXH 건식 펌프는 극심한 공정 조건에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 발휘하고 보유비용도 낮아 건식 펌프의 새로운 기준을 제시합니다.
iXL 시리즈는 저에너지 소형 건식 펌프로 웨이퍼 처리, PVD, 측량과 같은 경량 어플리케이션에 적합합니다.
