ENVIRONMENTS WHERE INNOVATION THRIVES
エドワーズの環境ミッションは、半導体産業が自然界や環境に及ぼす影響を最小化することです。
生産量の要求と環境面の制約を同時に満たすことは、ますます困難になっています。各メーカーが環境報告基準を追加し、気候変動の枠組みに基づいた排出ガス規制強化に対応するために、機器サプライヤーと協力して、全体の設定を検討する必要があることは明らかです。
このため、当社は機器やシステムの開発の最前線でお客様と協力し、資源、電力、水、および施設の使用を最小限に抑えてサービス戦略と組み合わせ、環境への影響を最小限に抑えると同時に工場の効率を最大化する取り組みを進めています。
環境の持続可能性に関する当社エキスパートのメッセージ
環境の持続可能性目標を達成するための6つの方法
- 運用方法、機器とシステムの計画、エネルギー使用量、クリーンルームとサブファブとの関係を総合的に把握しましょう。エドワーズは、半導体気候関連コンソーシアムなどのリーダーとしての役割を担っており、お客様の戦略にも連携することができます。
- 生産量や総所有コストだけでなく、製品寿命、環境面の持続可能性、エネルギー消費の面からも、設備投資を評価する
- 設備技術のアップグレードによるメリットを享受する
- 再製造が可能であると考えてみましょう。これは、環境コストを最小限に抑え、資産の寿命を延長する持続可能な選択肢です
- エドワーズサービスチームと協力して、サブファブにおける新たなエネルギー効率化の取り組みを活用し、エドワーズの現地STCを利用することでファブの二酸化炭素排出量を削減する
- エドワーズの予防保全体制を活用することで、環境への影響を軽減するだけでなく、コストを削減し、生産性を向上する
当社は、お客様と協力して、標準のコンプライアンス要件を超えて広範囲にプラスの影響をもたらす戦略とサービスプランを実現いたします。
環境への取り組みを積極的に推進
半導体工場では、さまざまな化学薬品、ガス、機器を使用しています。当社は、お客様のために工場およびサブファブの機器の設計を改善することで、最終的に環境へのメリットを拡大できると確信しています。
たとえば、エドワーズの除害性能は、工場のGHG排出量に大きな影響を及ぼしています。2022年には、お客様の施設だけで20メートルトンのCO2排出量を削減しました。これは、ミラノ、バルセロナ、マドリッドの排出量の合算に相当します。当社を導くモチベーションは、除去、削減、再利用、そしてリサイクルです
エドワーズは、業界のエコシステム全体を見直すための最初のフォーラム、半導体気候関連コンソーシアムの創設メンバーです。
環境問題へのエドワーズの貢献
- エネルギーとユーティリティの消費
- エアケア
- 廃棄物削減
- 監視と報告
エネルギーとユーティリティの消費
エドワーズの設計エンジニアは、生産のための電力、水、および施設の使用量削減に取り組んでいます。たとえば、エドワーズが最近開発したドライポンプでは、エネルギー使用量が3分の1に削減されています。
エアケア
半導体製造では、大気中や水中に、VOC、粒子状物質、重金属などのさまざまな汚染物質を放出します。エドワーズは、これらの物質を工場から排出する前に安全化するよう設計した除害システムで定評があり、現在のところ最大規模の除害システム設置拠点を世界中に有しています。
廃棄物削減
これは、より効率的なプロセスを使用し、材料をリサイクルし、化学物質などの材料を再利用することで実現できます。エドワーズのエキスパートであるクリス・ベイリーが、以下のビデオでリサイクルと材料回収に関するプロセスについて説明します。エドワーズはお客様と緊密に連携して、排出ガス削減のための戦略と機器設計を提案しています。
監視と報告
工場は環境への影響を監視し、影響を軽減する措置を講じる必要があります。エドワーズは、自社の機器とプロセスが確実にお客様のお役に立つように、あらゆる環境ガイドラインの最新情報を取得しています。
環境の持続可能性を実現するサービスソリューション
- 再製造
- アップグレード
- サービスプラン
- トータルリスクマネジメントソリューション
再製造
循環型経済モデルは、再使用、修理、再製造などの新しい原則を導入することで、現在の「獲得（資源）–製造（製品）–廃棄」のサイクルを再定義することを目的としています。エドワーズの再製造ソリューションは、真空機器と除害機器フリートをリース機器として再使用することで、持続可能性の目標の達成に貢献します。
アップグレード
エドワーズは、機器性能の環境への影響を最小限に抑えるさまざまなアップグレードを開発しています
サービスプラン
エドワーズは、環境の持続可能性目標の達成に役立つさまざまなサービスプランを提供しています。定期保守は、お客様の運用に大きな影響を及ぼす可能性があります。機器フリートの寿命を延長することで、シームレスな運用の実現に必要なバックアップ機器を減らし、資源をより効率的に活用できます。また、不必要に廃棄される機器を減らすことで、廃棄物も削減できます。効果的なサービスプランは、スペアパーツやエンジニアの輸送や交通を含むサプライチェーンを最適化するため、スコープ3排出ガス削減目標の達成に貢献します。
トータルリスクマネジメント契約
当社のリスクマネジメントソリューションは、資源利用の最適化と安全/健康の面で、持続可能性目標に大きな影響を及ぼします。当社の予測分析アルゴリズムは、お客様固有のニーズに合わせて開発されており、機器の不具合検出時に高度な警告を発します。これにより、プロセスツールの保守を真空機器や除害機器の保守に合わせて調整できます。また、真空機器と除害機器のダウンイベントに関連するリスクと不確実性を低減し、生産プロセスの想定外の中断によって発生するクリーンルームチームとサブファブチームの悩みも軽減します。
