Edwards nEXTメカニカルターボ分子ポンプ
Edwardsターボ分子ポンプはマルチステージ軸流タービンで、高速回転ブレードでガスの排気側への移動確率を高めることで圧縮を行います ターボ分子ポンプは、分子流条件に最適化されており、適切なサイズのバッキングポンプまたはオイルフリーのスクロールポンプが必要です。
nEXTターボ分子ポンプは何十年にもわたる経験に基づいて作られており、当社実証済みのEXTとSTPシリーズを基盤としています。nEXTポンプは優れた性能、信頼性を提供するだけでなく、エンドユーザーの保守も容易であり、科学用ターボ分子ポンプのベンチマークを確立しています。
nEXTシリーズから卓越した性能
新製品:nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプ
Edwardsは、nEXT製品ファミリーに二つの新しい機種、nEXT730とnEXT930を導入できることを誇りに思います。 Edwardsは、nEXT730およびnEXT930で、市場をリードするnEXTプラットフォームの範囲を拡大し、この二つの新しい大型ポンプで窒素に対して700および900L/sを大幅に超える速度を提供します。 これらのポンプは、高速の排気速度が必要とされる一般的なR&D市場に対応するだけでなく、コーティング市場や、熱処理、炉用途、Eビーム溶接、エッチング、イオンインプラント、ガス抜き、シリンダーからの排出などの他の拡散用途市場セクターの要件にも対応するように設計されています 。
Edwards nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプのビデオ
EdwardsのnEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプは、EdwardsのnEXTファミリーの最新の製品であり、高い信頼性と低い所有コストとともに、クラス最高のパフォーマンスを提供します。信頼性の高いnEXTポンプの80,000台超の生産実績を背景に当社は、より要求の厳しい新しいセクターやアプリケーション向け排気速度の高速化と柔軟性の向上をもたらしています。これらの新しいモデルは、ISO / CF 160およびISO / CF 200のインレットフランジオプションでnEXTの機能を拡張し、900 L/sを超える排気速度を実現しています。
Edwards nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプビデオの概要
EdwardsがnEXT85ターボ分子ポンプを発売
nEXT85は人気のEdwards nEXTターボ分子ポンプのシリーズに加わったばかりの新製品です。人気のEXTシリーズをベースに、フットプリントを縮小しながら性能を向上させ、機能と利点を改善しました。この優れた最新のターボ分子ポンプをEdwardsの製品マネージャーであるJohn Woodがご紹介をさせていただいています。
Edwards nEXT85ターボ分子ポンプの動画
標準または高圧縮タイプの顧客選択が増えるなか、Edwards nEXT85ターボ分子ポンプは市場におけるクラス最小のポンプでありながら、すべての要求に優れた性能を提供できます。
nEXT85 - 他のポンプが到達していない域へ....
最も低い圧力を達成するため、宇宙の端、地球から32km上空に新しいnEXT85を打ち上げることにしましたが、結局必要なのは電源を入れるだけでした。
<p>nEXTポンプの製造工場を見る</p>
nEXTの製造拠点 Edwardsのルティーン製造工場は1999年以来稼働しているチェコ共和国にある当社のグローバル製造拠点です。13,000平方メートルの工場は、450人の従業員を擁し、80を超える精密製造ツール、550平方メートルのISO 7定格の最先端のクリーンルームがあります。
- nEXTターボ分子ポンプの主な特長
- ダウンロード
- 技術仕様
nEXTターボ分子ポンプの主な特長
ダウンロード
技術仕様
nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
インレットフランジ | DN40 | DN63 ISO-KまたはDN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-KまたはDN100CF | DN100 ISO-KまたはDN100CF | DN160 ISO-KまたはDN160-CF | |
インレット排気速度 ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
圧縮率 (D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
圧縮率 (T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | ||||
H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | |||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
メインインレット 排気速度 |
||||
N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
He ls-1 | 820 | 905 | ||
H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
補助ポートからメインインレットポートへのピーク圧縮率 | ||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
H2 | 4X106 | 4X106 | ||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
到達圧力 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
重要 (kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 |
フル速度での排気量: | ||||
N2 | 14 | 14 | ||
He | 21 | 21 | ||
H2 | >14 | >14 | ||
Ar | 3.5 | 3.5 |
nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
インレットフランジ | DN40 | DN63 ISO-KまたはDN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-KまたはDN100CF | DN100 ISO-KまたはDN100CF | DN160 ISO-KまたはDN160-CF | |
インレット排気速度 ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
圧縮率 (D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
圧縮率 (T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | ||||
H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | |||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
メインインレット 排気速度 |
||||
N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
He ls-1 | 820 | 905 | ||
H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
補助ポートからメインインレットポートへのピーク圧縮率 | ||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
H2 | 4X106 | 4X106 | ||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
到達圧力 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
重要 (kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 |
フル速度での排気量: | ||||
N2 | 14 | 14 | ||
He | 21 | 21 | ||
H2 | >14 | >14 | ||
Ar | 3.5 | 3.5 |