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nEXTメカニカルターボ分子ポンプ

EdwardsのnEXTメカニカルターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプはマルチステージ軸流タービンを備えており、高速回転ブレードによって排気側へのガス通過確率を高めることで圧縮を行います。ターボ分子ポンプは、分子流条件に対して最適化されており、大気排出のための適切なサイズのバッキングポンプを必要とします。   

nEXTシリーズの卓越した性能

nEXTは、ターボ分子ポンプの最新技術をすべて投入して設計されました。ポンプサイズ、55、85、240、300、400、730、925、1250 l/sを取り揃えており、優れた排気速度を発揮します。エンドユーザーによる保守が可能な、真にクラス最高の製品です。

nEXT55およびnEXT85ターボ分子ポンプ

nEXT55およびnEXT85は、nEXTシリーズで最もコンパクトです。高さを大幅に抑え、小型ながら性能が向上しています。これらのポンプは55 l/sおよび85 l/sの排気速度と、クラス最高のポンプの圧縮比を発揮し、同等サイズのターボポンプと比べてほぼ2倍の排気速度を実現します。

nEXT240、nEXT300およびnEXT400ターボ分子ポンプ

nEXT240、nEXT300、nEXT400は、長年蓄積された経験と定評のあるEXTおよびSTPシリーズに基づいて設計され、ターボ分子ポンプの基準となっています。長年実証されてきたモデルを基に各種サイズと仕様を取り揃えており、幅広いアプリケーションからそれぞれのニーズに応じて柔軟に製品を選び、真空ソリューションを最適にカスタマイズすることができます。

nEXT730、nEXT930、新製品のnEXT1230ターボ分子ポンプ

nEXT730とnEXT930により、Edwardsは市場をリードする次世代のnEXTプラットフォームシリーズを拡張し、2種類の大型ポンプによって、730 l/sおよび925 l/sを上回る排気速度を実現しました。排気速度1250 l/sを発揮するnEXT1230の発売により、このシリーズがさらに拡張されます。これらのコンパクトポンプはあらゆる分野で使用でき、各種制御アクセサリにより、冷却、排気、電源供給をサポートします。
これらのポンプは、高速の排気速度が求められる一般的な研究開発分野だけではなく、コーティング、熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、ガス抜き、シリンダー排気など、幅広い分野に対応するよう設計されています。

nEXT55

nEXT1230

nEXT55および85

nEXT240、300、400

nEXT730、930、1230

 

10万台を超える信頼性の高いnEXTポンプの生産実績を基盤として、当社はより要求の厳しい新しい分野や用途においても、排気速度の高速化と柔軟性の向上を実現しています。これらの新型モデルにDN ISO/CF 160およびDN ISO/CF 200のインレットフランジのオプションとして追加することにより、nEXTの機能をさらに拡張できます。

その他のビデオ

卓越した排気速度と圧縮率

優れた性能

ターボポンプに関する膨大な納入実績

安心できる実証済みの信頼性

注文設計サービスに対応

柔軟なソリューション

インテリジェントコントロール内蔵

使いやすさ

エンドユーザーによる保守が可能

長い耐用年数と低い所有コスト

お客様の選択肢を拡大

豊富な標準バージョンをご用意

  nEXT55 nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
インレットフランジ   DN63 ISO-KまたはDN63CF DN40 DN63 ISO-KまたはDN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-KまたはDN100CF DN100 ISO-KまたはDN100CF DN160 ISO-KまたはDN160-CF
インレット排気速度 ls-1 N2 55 47 84 84 240 300 400
Ar 55 44 80 80 230 280 380
He 41 61 78 80/78(D/H) 230 340 390
H2 27 49/44(D/H) 60/54(D/H) 60/54(D/H) 165 280 325
圧縮率(D) N2 >1  x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
Ar >1  x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He   8 x 106/2 x 107(D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2   2 x 105/5 x 105(D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
圧縮率(T/H) N2         >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He         1 x 106 3 x 106 >1 x 108
H2         1.5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D nEXT1230
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200 DN 200 CF DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K
メインインレット
排気速度
 
N2 ls-1 730 925 1250
He ls-1 820 905 1150
H2 ls-1 715 735 1350
Ar ls-1 665 865 1150
補助ポートからメインインレットポートへのピーク圧縮率  
N2 >1x1011 >1x1011 1 x 1011
He 1.2X108 1.2X108 4 x 108
H2 4X106 4X106 1 x 107
Ar >1x1011 >1x1011 1 x 1011
到達圧力(mbar)(CF) 3.0X10-10 3.0X10-10 <5 x 10-10 ISO-KおよびISO-Fに対して圧力が高いことを示唆
総重量 (kg) 14.6 19.6 15.4 21.7 32.6 24.9 23.7
最高速度での排気量:  
N2 14 14 12
He 21 21 <20
H2 >14 >14 <20
Ar 3.5 3.5 4