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nEXTメカニカルターボ分子ポンプ

EdwardsのnEXTメカニカルターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプはマルチステージ軸流タービンを備えており、高速回転ブレードによって排気側へのガス通過確率を高めることで圧縮を行います。ターボ分子ポンプは、分子流条件に対して最適化されており、大気排出のための適切なサイズのバッキングポンプを必要とします。   

nEXTシリーズの卓越した性能

nEXTは、ターボ分子ポンプの最新技術の利点を組み合わせて設計されているため保守が容易で、エンドユーザーにとってクラス最高の製品となっています。

排気速度85、240、300、400 l/sのnEXTシリーズ(N2)に、700および900 l/sの排気速度性能を持つモデルが追加されました。

従来のターボ分子ポンプローターは、高い排気速度または圧縮率のいずれかを発揮するように設計されていましたが、このような性能上の妥協を排除するため、nEXTはローターのブレード配置を完全に再設計してポンプ性能を最適化し、高い排気速度と圧縮率を両立しました。その結果、ポンプサイズに対して卓越したポンプ性能を実現しています。

nEXT85は、人気のEXTシリーズをベースにしており、設置面積を縮小しながら性能を向上させ、機能や利点を改善しています。ここで、Edwardsの製品マネジャーであるジョーン・ウッドが、この素晴らしい新型ターボ分子ポンプについてご説明します。

新型 - nEXT730およびnEXT930ターボ分子ポンプ

Edwardsは自信を持って、nEXT製品シリーズの最新モデル、nEXT730とnEXT930をご紹介します。

EdwardsはnEXT730およびnEXT930の導入により、市場をリードするnEXTの基盤を拡大しています。この新しい2種類の大型ポンプは、700 l/sおよび900 l/sを大幅に超える排気速度を発揮します(窒素の場合)。


これらのポンプは、高速の排気速度が必要とされる一般的な研究開発分野だけでなく、コーティング、熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオンインプラント、ガス抜き、シリンダー排気など、広範囲な分野の要件にも対応するよう設計されています。


8万台を超える信頼性の高いnEXTポンプの生産実績を背景に、当社は、より要求の厳しい新しい分野や用途においても、排気速度の高速化と柔軟性の向上をもたらしています。これらの新型モデルは、ISO / CF 160およびISO / CF 200のインレットフランジオプションを採用することでnEXTの機能を拡張し、900 l/sを超える排気速度を実現しています。

高い信頼性と低い所有コストを備えながら、クラストップの性能を発揮。

その他のビデオ

卓越した排気速度と圧縮率

優れた性能

ターボポンプに関する膨大な納入実績

安心できる実証済みの信頼性

注文設計サービスに対応

柔軟なソリューション

インテリジェントコントロール内蔵

使いやすさ

エンドユーザーによる保守が可能

長い耐用年数と低い所有コスト

お客様の選択肢を拡大

豊富な標準バージョンをご用意

  nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
インレットフランジ   DN40 DN63 ISO-KまたはDN63CF DN100 ISO-K  DN100 ISO-KまたはDN100CF DN100 ISO-KまたはDN100CF DN160 ISO-KまたはDN160-CF
インレット排気速度 ls-1 N2 47 84 84 240 300 400
Ar 44 80 80 230 280 380
He 61 78 80/78(D/H) 230 340 390
H2 49/44(D/H) 60/54(D/H) 60/54(D/H) 165 280 325
圧縮率(D) N2 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
Ar >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He 8 x 106/2 x 107(D/H) 3 x 105 1 x 106 1 x 108
H2 2 x 105/5 x 105(D/H) 1 x 104 5 x 104 5 x 105
圧縮率(T/H) N2       >1 x 1011 >1 x 1011 >1 x 1011
He       1 x 106 3 x 106 >1 x 108
H2       1.5 x 104 1 x 105 1 x 106
  nEXT730D nEXT930D
ISO-K 160 CF 160 ISO-K 200 CF 200
メインインレット
排気速度
N2 ls-1 730 925
He ls-1 820 905
H2 ls-1 715 735
Ar ls-1 665 865
補助ポートからメインインレットポートへのピーク圧縮率
N2 >1x1011 >1x1011
He 1.2X108 1.2X108
H2 4X106 4X106
Ar >1x1011 >1x1011
到達圧力(mbar)(CF) 3.0X10-10 3.0X10-10
総重量 (kg) 14.6 19.6 15.4 21.7
最高速度での排気量:
N2 14 14
He 21 21
H2 >14 >14
Ar 3.5 3.5
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