Your browser is not supported

ご利用のブラウザはサポートされておりません。当社のWebサイトを引き続きご覧になるためには、次のサポートされたブラウザをご利用ください。

TICカートXLポンプステーション

Edwards TICカートXLポンプステーション

nEXTターボ分子ポンプステーション(TICカートXL)

TICカートXLは、可動式の大容量ターボ分子ポンプステーションであり、高速で信頼性の高い真空ソリューションが必要な場面に最適です。

多様なアプリケーション:

  • 高エネルギー物理学
  • 粒子加速器
  • ビームライン
  • シンクロトロン
  • その他可動式が必要/有益な高性能用途

排気速度240~930l/sのターボ分子ポンプ

バックポンプのnXRi多段ルーツ式ドライポンプは排気速度30~90 m3h-1をご用意
 
お客様の真空要件とチャンバーサイズに応じて、最適なnEXTターボ分子ポンプとnXRi多段ルーツ式ドライポンプを選びさえすれば、カートが完成品の状態で届きすぐに運転を開始することができます。 
 

EdwardsのすべてのnEXTターボ分子ポンプステーションには、TICターボ・インスツルメントコントローラが搭載されており、シンプルで直感的な操作でパッケージを完全に制御できます。あらゆる機能を備えたハイエンドステーションとして、監視および制御用のRS232シリアル通信とWindows®ソフトウェアが搭載されています。 

特長と利点

  • ターボ分子ポンプ:ターボ分子ポンプは、排気速度240~930 ls-1、インレットフランジはDN100~DN200からお選びいただけます(ISOまたはCF)。
  • 完全な制御が可能:TICターボ・インスツルメントコントローラでは、ポンプと最大3つのアクティブ・ゲージを制御可能で、完全なシリアル・リモート通信を提供します。
  • ベントバルブオプション:オプションでターボ分子ポンプベントバルブをカートアセンブリとして注文可能です。
  • ユーザーによる保守が可能:すべてのnEXTターボ分子ポンプとバックポンプはユーザー保守が可能です。
  • 堅牢なメタルフレーム:ロック付きのキャスターを装備したオールメタルフレームは堅牢で移動が簡単なシステムです。
  • バックポンプ:排気速度30~90 m³/h-1のドライバックポンプからお選びいただけます。
  • 低振動:耐震マウントにドライポンプが取り付けられているため、伝わる振動が低レベルに抑えられています。

「電源をつなぐだけ」のターボ分子ポンプステーション

エドワーズのnEXTターボ分子ポンプステーションはすべて、容易に設置・運転できるように最先端の技術を用いた真空ソリューションとして開発されています。

1. ターボポンプを選択

2. バックポンプを選択

3. 電圧を選択

「電源をつなぐだけ」のターボ分子ポンプステーション

シンプルな注文体系*と排気速度 240 ls-1~930 ls-1の豊富なターボ分子ポンプラインナップにより、お客様の用途に最適な組み合わせを選定でき、すぐに使える完成品でお届けします。

*以下の製品データシートを参照してください

笑顔で廊下に立つEdwardsの従業員
サービスソリューション

サービスソリューション製品の詳細をご覧ください