T-Station 300ポンプステーション

パフォーマンスの向上

Edwards T-Station 300ポンプステーション

当社の人気の高いターボ分子ポンプステーション製品をさらに拡張しました。

T-Station 300は、定評のある当社T-Station 85の経験に基づいて製造されています。同様の小型製品よりも高いポンプスピードを実現します。

nEXT85ターボ分子ポンプをnEXT300ポンプに交換することでポンプスピード範囲が広がり、300 ls-1の性能を実現しています。

最大300 ls-1

低い所有コスト

主な機能

コスト効率が高く、コンパクトで、モジュール式

ポンプパッケージ

容易なポンプ接続ソリューション

シンプルで使いやすく、システム化や追加の空冷装置が不要です。
完全に組み立てられた状態で届くため、迅速かつ容易に運転を開始することができます。

堅牢な構造

薄型でコンパクトに設計されたオールメタルフレームは、ひび割れや破損の心配なく酷使することができ、ベースプレートには安定性を強化するためにゴム製の脚が
備えられています。

技術仕様

N₂ポンプスピード
ISO100	l/s	300
CF100	l/s	300
N₂圧縮率
ISO100		>1x10¹¹
CF100		>1x10¹¹
バッキングポンプスピード50 Hz
E2M1.5	m3/h	1.6
XDD1	m3/h	1.2
到達真空レベル
ISO100	mbar	<6x10^-8
CF100	mbar	<5x10^-10
排気フランジ
E2M1.5		外径11 mmノズルまたは3/8" BSP
XDD1		装着サイレンサまたは1/8" BSP
質量
TS300 ISO100 E2M1.5	kg	26
TS300 CF100 E2M1.5	kg	29
TS300 ISO100 XDD1	kg	21
TS300 CF100 XDD1	kg	24
ノイズレベル	dB（A）	<56 dB(A) ± 3dB(A)、ISO4871に準拠したデュアルナンバー騒音排出の申告値
気密性	mbar l/s	<1x10^-6
運転温度範囲
TS300 E2M1.5	℃	+12～+40
TS300 XDD1	℃	+5～+35

ドキュメント