Edwards T-Station 300ポンプステーション
T-Station 300は、定評のある当社T-Station 85の経験に基づいて製造されています。同様の小型製品よりも高いポンプスピードを実現します。
nEXT85ターボ分子ポンプをnEXT300ポンプに交換することでポンプスピード範囲が広がり、300 ls-1の性能を実現しています。
| N2ポンプスピード | ||
| ISO100 | l/s | 300 |
| CF100 | l/s | 300 |
| N2圧縮率 | ||
| ISO100 | >1x1011 | |
| CF100 | >1x1011 | |
| バッキングポンプスピード50 Hz | ||
| E2M1.5 | m3/h | 1.6 |
| XDD1 | m3/h | 1.2 |
| 到達真空レベル | ||
| ISO100 | mbar | <6x10-8 |
| CF100 | mbar | <5x10-10 |
| 排気フランジ | ||
| E2M1.5 | 外径11 mmノズルまたは3/8" BSP | |
| XDD1 | 装着サイレンサまたは1/8" BSP | |
| 質量 | ||
| TS300 ISO100 E2M1.5 | kg | 26 |
| TS300 CF100 E2M1.5 | kg | 29 |
| TS300 ISO100 XDD1 | kg | 21 |
| TS300 CF100 XDD1 | kg | 24 |
| ノイズレベル | dB（A） | <56 dB(A) ± 3dB(A)、ISO4871に準拠したデュアルナンバー騒音排出の申告値 |
| 気密性 | mbar l/s | <1x10^-6 |
| 運転温度範囲 | ||
| TS300 E2M1.5 | ℃ | +12～+40 |
| TS300 XDD1 | ℃ | +5～+35 |
