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ターボ分子ポンプステーション

T-Station 300ポンプステーション

パフォーマンスの向上

T-Station 300ドライXDD1ダイアフラムポンプステーション

Edwards T-Station 300ポンプステーション

当社の人気の高いターボ分子ポンプステーション製品をさらに拡張しました。

T-Station 300は、定評のある当社T-Station 85の経験に基づいて製造されています。同様の小型製品よりも高いポンプスピードを実現します。 


nEXT85ターボ分子ポンプをnEXT300ポンプに交換することでポンプスピード範囲が広がり、300 ls-1の性能を実現しています。


コスト効率が高く、コンパクトで、モジュール式

ポンプパッケージ

容易なポンプ接続ソリューション

シンプルで使いやすく、システム化や追加の空冷装置が不要です。
完全に組み立てられた状態で届くため、迅速かつ容易に運転を開始することができます。

堅牢な構造

薄型でコンパクトに設計されたオールメタルフレームは、ひび割れや破損の心配なく酷使することができ、ベースプレートには安定性を強化するためにゴム製の脚が
備えられています。

N2ポンプスピード    
ISO100 l/s 300
CF100 l/s 300
N2圧縮率    
ISO100   >1x1011
CF100   >1x1011
バッキングポンプスピード50 Hz    
E2M1.5 m3/h 1.6
XDD1 m3/h 1.2
到達真空レベル    
ISO100 mbar <6x10-8
CF100 mbar <5x10-10
排気フランジ    
E2M1.5   外径11 mmノズルまたは3/8" BSP
XDD1   装着サイレンサまたは1/8" BSP
質量    
TS300 ISO100 E2M1.5 kg 26
TS300 CF100 E2M1.5 kg 29
TS300 ISO100 XDD1 kg 21
TS300 CF100 XDD1 kg 24
ノイズレベル dB(A) <56 dB(A) ± 3dB(A)、ISO4871に準拠したデュアルナンバー騒音排出の申告値
気密性 mbar l/s <1x10^-6
運転温度範囲    
TS300 E2M1.5 +12~+40
TS300 XDD1 +5~+35