N2ポンプスピード | ||
ISO100 | l/s | 300 |
CF100 | l/s | 300 |
N2圧縮率 | ||
ISO100 | >1x1011 | |
CF100 | >1x1011 | |
バッキングポンプスピード50 Hz | ||
E2M1.5 | m3/h | 1.6 |
XDD1 | m3/h | 1.2 |
到達真空レベル | ||
ISO100 | mbar | <6x10-8 |
CF100 | mbar | <5x10-10 |
排気フランジ | ||
E2M1.5 | 外径11 mmノズルまたは3/8" BSP | |
XDD1 | 装着サイレンサまたは1/8" BSP | |
質量 | ||
TS300 ISO100 E2M1.5 | kg | 26 |
TS300 CF100 E2M1.5 | kg | 29 |
TS300 ISO100 XDD1 | kg | 21 |
TS300 CF100 XDD1 | kg | 24 |
ノイズレベル | dB(A) | <56 dB(A) ± 3dB(A)、ISO4871に準拠したデュアルナンバー騒音排出の申告値 |
気密性 | mbar l/s | <1x10^-6 |
運転温度範囲 | ||
TS300 E2M1.5 | ℃ | +12~+40 |
TS300 XDD1 | ℃ | +5~+35 |