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リークとは、特定の技術システムに発生する小さな穴であり、これにより想定外のガスの出入りが生じます。
リークレートは、一定の圧力差においてリークを通過する時間当たりのガス量を基にしたリークの大きさを示します。
真空装置や真空システムは、真空気密になることはなく、実際にその必要はありません。シンプルで重要なことは、リークレートが十分に低く、必要な運転圧力、ガスバランス、真空容器内の到達圧力に影響がないということです。
必要な圧力レベルが低いほど、装置の気密性に関する要件はより厳しくなります。
