IDXドライスクリュー真空ポンプ

産業用プロセスのための高速および大容量排気

冶金、コーティングおよびガス抜き用のダブルエンドスクリュー技術

大型チャンバー用の大容量排気

IDXは、低圧下においても大量のガスを排気可能な排気性能を持ち短時間でターゲット圧力に到達することができます。

改善されたパフォーマンスおよび信頼性

IDXは安定した、反復可能なパフォーマンスのために堅牢な産業用機構を搭載しています。低圧でハイスループットを管理しながら、大気から到達真空まで迅速に排気できることが大きな特長です。高効率駆動により、ランニングコストも低減できます。

環境にやさしい

持続可能な生産性を改善するよう設計されたIDXの効率は、廃液をなくし、環境への総合的な影響を改善するのに役立ちます。

容易な保守

IDXは、オイルフィルタの交換、軸受けやシールなど、現場で独自の決まった保守を簡単に実施できるよう設計されています。

ニーズに合わせてカスタマイズされたシステム構成

IDXには標準アクセサリモジュールが付属しており、貴社の正確な要件を満たす、最高30,000 ㎥/hの性能を提供するメカニカルブースタが搭載された標準パッケージを提供します。また、急速ポンプダウンのため排気ブースタ段階でIDXを構成できます。

一体型ヘッドプレートが付いた特許取得済みのステータマシン

  • 許容性が改善され、排気効率が向上 
  • 圧迫プレートがないため、ホコリや液体処理が簡単

間接冷却回路

  • 安定性を向上させる優れた熱制御 
  • 低品質の冷却水も使用可能 
  • ポンプに合わせて温度が均一に分散するように徹底し、温点や冷点をなくす

  単位 IDX1000 IDX1300
重量      

50 Hz

kg (lb) 1560 (3439) 1590 (3506)

60 Hz

kg (lb) 1630 (3594) 1660 (3660)
排気速度    

公称

m³/h (cfm) 1000 (589) 1300 (766)

実効

m³/h (cfm) 900 (560) 1250 (736)
到達圧力 mbar (Torr) 5 x10-2 (3.75 x 10-2) <5 x10-2 (3.75 x 10-2)
騒音 dB(A) 82 82
モータ kW (hp) 30 (40) 任意 - 22 (30) 30 (40)
ご相談下さい 最寄りのエドワーズをお探しください。