IDXドライスクリュー真空ポンプ
産業用プロセスに対応する高速ポンプダウンおよび高容量排気
冶金、コーティングおよびガス抜き用のダブルエンドスクリュー技術
エドワーズ IDX真空ポンプは電力コストの削減、廃液ゼロ、製品品質の大幅な向上を実現するよう設計されており、多くの脱ガス、コーティング、冶金プロセスに最適です。
大型チャンバー用の大容量排気
IDXは、低圧下においても大量のガスを排気可能で、短時間で目標圧力に到達することができます。
性能と信頼性の向上
IDXは、信頼性と再現性の高い性能を発揮する堅牢な工業用機構を備えています。主な特徴は、低圧でより高いスループットを維持しながら、大気から到達真空までのポンプダウンを高速化できることです。効率性は、運用コストの削減にもつながります。
環境にやさしい
持続可能な生産性の向上をサポートするよう設計されており、IDXの効率の高さは、廃液をゼロにし、環境への全体的な影響を改善するのに役立ちます。
メンテナンスが容易
IDXは、オイルフィルターの交換、軸受けやシールなど、現場での定期メンテナンスを簡単に実施できるよう設計されています。
ニーズに合わせてカスタマイズされたシステム構成
IDXには標準のアクセサリモジュールが付属しており、お客様の細かい要件に合わせたさまざまな標準パッケージをご用意しています。メカニカルブースターは、最大30,000 m3/時までの容量を提供します。また、IDXには、迅速なポンプダウンのための排気ブースターステージを設定することもできます。
- 信頼できるケミカル用途の知識
- 技術仕様
| ユニット | IDX1000 | IDX1300 | |
| 質量 | |||
50 Hz |
kg（ポンド） | 1560（3439） | 1590（3506） |
60 Hz |
kg（ポンド） | 1630（3594） | 1660（3660） |
| 排気速度 | |||
公称 |
m3hr1 (cfm) | 1000（589） | 1300（766） |
実際の値 |
m3hr1 (cfm) | 900（560） | 1250（736） |
| 到達圧力 | mbar (Torr) | 5 x10-2 (3.75 x 10--2) | <5 x10-2 (3.75x 10-2) |
| 騒音 | dB（A） | 82 | 82 |
| モータ | kW（hp） | 30 (40) 任意 - 22 (30) | 30（40） |
