真空ポンプは機械式コンピュータよりも静かであり、画像に影響しないよう振動も最小限である必要があます。
超高真空 (UHV) を含む高品質の真空は、電子顕微鏡の絶え間ない進歩をサポートし、実現するために不可欠なものです。これらの技術が進歩するとともに、真空システムの需要はさらに切迫します。
電子顕微鏡アプリケーションの懸念事項は機械的振動です。機器の分解能は原子以下のレベルに達し、すべての潜在的な振動源が精査されなければなりません。Edwardsとのパートナーシップで顕微鏡に組み込まれた真空システムの各コンポーネントの研究から利益を得ることができます。非常に高い分解能でDNAや細菌など微細構造の可視化の実現。
低振動真空の課題に立ち向かう当社は、振動低減の専門家であり、高度な防振技術と組み合わせて実現できる低振動ターボ分子ポンプを提供できます。当社のnEXT Lタイプのロータは、精密高速バランスが調整されており、精密チューニングされたコンパクトメタルスプリングダンパー (CMSD) を搭載したハイブリッドマグネットメカニカルベアリングを使用しています。さらに、Lタイプの場合、上部の磁気軸受けをさらに選別することで低浮遊磁場を最適にします。
Gamma VacuumをEdwardsファミリーに迎えて以来、メカニカルポンプを補完するイオン、チタン昇華、および非蒸発型ゲッターポンプを提供しています。これにより、大気圧からUHVまでの圧力環境を実現し、真に完全な真空ソリューションを提供する製品ラインが完成します。
