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電子顕微鏡

非常に高い分解能で微細構造の可視化を実現

電子顕微鏡機器の世界におけるEdwards

真空ポンプは機械式コンピュータよりも静かであり、画像に影響しないよう振動も最小限である必要があます。  

Cancer cell and lymphocytes
電子顕微鏡用途における懸念事項は、機械的振動です。

機器の分解能は原子以下のレベルに達し、すべての潜在的な振動源が精査されなければなりません。 


Edwardsとのパートナーシップにより、顕微鏡に組み込まれた真空システムの各コンポーネントの研究によるメリットを享受することができます。DNAや微生物などの微細構造を、高分解能で可視化できます。


Edwards R&D team
Edwardsは、低振動真空の課題に取り組む、振動低減の専門家です

当社は、高度な防振技術と組み合わせて実装した低振動ターボ分子ポンプをご用意しています。 


nEXT Lタイプのロータは、精密高速バランスが調整されており、精密にチューニングされたコンパクトメタルスプリングダンパ(CMSD)を搭載したハイブリッドマグネットメカニカルベアリングを使用しています。さらにLタイプの場合、上部磁気ベアリングをさらに選別することで、低浮遊磁場用を最適にしています。

イオン、チタン昇華、非蒸発型ゲッターポンプ

Gamma VacuumをEdwardsファミリーに迎えて以来、メカニカルポンプを補完するイオン、チタン昇華、非蒸発型ゲッターポンプを提供しています。 


これにより、大気圧からUHVまでの圧力環境を実現し、真に完全な真空ソリューションを提供する製品ラインが完成しました。


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