エドワーズは、国連の新しい温室効果ガスガイドラインに対応します

エドワーズは、国連の新しい温室効果ガスガイドラインに対応します

より厳しいIPCCガイドラインには、CF4副産物の形成と排出の説明責任が含まれます。

「IPCCは、大気中で測定された温室効果ガスの量と、既知の排出源の一覧表から計算された量との間にギャップがあることを認識しました」とMike Czerniak、ブリストル大学客員教授兼エドワーズの環境ソリューションビジネス開発マネージャーは述べました。「このギャップは、非常に高い地球温暖化係数(GWP)を持つだけでなく、大気中の寿命が5万年と極端に長いパーフルオロ化合物(PFC)などのガスについて特に気掛かりです。」

半導体製造中のPFC形成について、二つの新しいメカニズムが特定され、排出係数が最新のIPCC改良版に追加されました。

1) 化学気相成長法(CVD)のチャンバ堆積物をクリーニングするときのCF4の形成。

2) 燃料とプロセスチャンバーの排出物を混合するシステムでの燃焼ベースの除害におけるフッ素の炭化水素燃料に対する反応によるCF4の形成。

「初めて、燃焼によるフッ素の軽減に新しい排出係数があります - 現在、機器メーカーには、反応が最小限に抑えられていることを示すデータの裏付けがある認証の形で、直接的な説明責任が求められています」 とCzerniak教授は述べました。「適切な燃焼器設計により、PFCの形成を最小限に抑えることはできます。」

エドワーズの内向き燃焼器は、チャンバー排気と燃料の混合を回避します。この混合は、他の設計では、元の排気流には存在しないPFCを生産する可能性があります。内向き燃焼器の温度プロファイルがより低く、より均一であるので、NOxの発生が少なく、高い破壊除去効率(DRE)が保証されます。内向き燃焼器は、1990年代に開発を開始して以来、エドワーズの除害システムの標準となっています。

SEMICON Westの期間中、エドワーズ(ブース#750)に訪問して、最新のIPCCガイドラインと温室効果ガス削減のベストプラクティスの詳細をご覧ください。SEMICON Westは、2019年7月9〜11日、カリフォルニア州サンフランシスコで開催されます。