主ポンプは、運転開始前の排気や連続運転時のサポートの役割を果たしてくれる補助ポンプを必要とします。安全で最適な性能を確保するために、補助ポンプと主ポンプの正しい組み合わせやマッチングを考える際には、おさえておくべきいくつかのポイントがあります。
不適切な組合せは、拡散ポンプの停止（および大規模なオイル汚染）やターボ分子ポンプの過熱など、深刻な結果を招く可能性があります。
以下に、よくある例を挙げながら、これらの要件について説明します。
補助ポンプは、大気圧からある一定の真空レベルまで排気するポンプです。これには、オイルシール型ロータリベーン（OSRV）、ダイアフラム、スクロール、多段ルーツ、ピストン、スクリューポンプおよび水封式ポンプなどが挙げられます。
主ポンプは、補助ポンプや場合によっては他の主ポンプを使って、運転前に必要な圧力まで初期排気してあげる必要があります。主ポンプの例は、オイル拡散ポンプ（ODP）、ターボ分子ポンプ（TMP）、蒸気ブースター（VB）、メカニカルブースター（MB）、イオンゲッターポンプ（IGP）、チタンサブリメーションポンプ（TSP）、非蒸発可能ゲーター（NEG）、極低温、分子ドラッグ、再生ポンプなどです。
ODP、TMP、VBポンプなどは、連続運転にバックポンプが必要な場合もあります。
補助ポンプと主ポンプをマッチングするには、次の点を考慮する必要があります
これにより、補助ポンプで約1.5 mbarの上昇が生じます（下図参照）
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