セカンダリポンプでは、操作や連続運転をサポートするために、最初にプライマリポンプを「プライミング」する必要があります。安全で最適化された性能を確保するために、プライマリポンプとセカンダリポンプの正しい組み合わせまたは「マッチング」を考慮する必要があるいくつかの要因があります。
不適切な選択は、「停止した」拡散ポンプ（および主要なオイル汚染）からターボ分子ポンプの過熱まで、深刻な結果を招く可能性があります。
次に、一般的な例を示したこれらの要件について説明します。
プライマリ真空ポンプ（PP）は、大気圧まで排気されるポンプです。これには、オイルシールロータリベーン（OSRV）、ダイアフラム、スクロール、多段ルート、ピストン、スクリュポンプおよび水封式ポンプが含まれます。
セカンダリポンプ（SP）は、操作前にプライマリポンプおよびその他のセカンダリポンプによる初期排出を必要な圧力にする必要があります。たとえば、オイル拡散ポンプ（ODP）、ターボ分子ポンプ（TMP）、蒸気ブースター（VB）、機械式ブースター（MB）、イオンゲッターポンプ（IGP）、チタンサブリメーションポンプ（TSP）、非蒸発可能ゲーター（NEG）、極低温、分子ドラッグ、再生ポンプなどです。
場合によっては、連続運転にバッキングポンプをサポートする必要があります。これは、ODP、TMP、およびVBポンプの場合です。
PPとSPをマッチングするには、次の点を考慮する必要があります
これにより、PPで約1.5 mbarの上昇が生じます（下図参照）
資料ダウンロード
