エドワーズのnEXTターボ分子ポンプは、保守が容易なため、お客様ご自身での保守をお勧めします。
nEXT55およびnEXT85ターボ分子ポンプのカートリッジとベアリングの交換方法
数十年にわたる実績に基づき開発されたnEXTターボ分子ポンプは、優れた性能、信頼性、およびエンドユーザーによる保守性を提供し、ターボ分子ポンプのベンチマークとなっています。Edwards nEXT55/85 Any Orientation、Edwards nEXT55/ 85ターボ分子ポンプのカートリッジおよびベアリング交換の方法については、下記をお読みになるか動画をご覧ください。nEXTポンプのメンテナンスは35,000時間ごとに行うことをお勧めします。
カートリッジの交換には、下記が必要です：
B8E200845ベアリング交換ツールキット
- B8G200811ベアリング
- オイルカートリッジのオリジナルキット
- 2.5 mm六角レンチ
- T15およびT10のトルクスドライバ
- 1/4インチ角ドライバビット
- 段付き平ワッシャ（nEXT55/85 Any Orientationの保守作業用）
この手順を完了するには、B8E200845 nEXT55/85ベアリング交換ツールキットおよびB8G200811 nEXT55/85ベアリング&オイルカートリッジキットが必要です。事前にB8G200840 nEXT55/85サービスツールキットの取扱説明書をお読みください。
ポンプメンテナンスの際におぼえておくべき5つのヒント
- ポンプ付近の作業場所とポンプ台座を清掃し、手工具がすべて清潔で破損していないことを確認してください。ベアリングユニットと付近の部品を取り扱うときは手袋を着用してください。
- ベアリングモジュールの脱着時に回転防止チューブを使用することにより、プーラのスリーブの脱着時のベアリングの滑りを防止できます。
- ベアリング予圧の確認：ベアリング予圧ツールで、ベアリング予圧の設定が適正か確認してください。必要な場合は、ベアリング予圧ツールを使用して予圧を設定してください。正しく設定しない場合、ターボポンプの耐用年数が短くなるおそれがあります。予圧テストプランジャを使用して予圧をモニターすることをお勧めします。
- サービスカウンタのリセット：オイルカートリッジの交換、またはオイルカートリッジとベアリングモジュールの交換が完了したら、メンテナンス時期をリセットして次回のメンテナンスを予定に組み込むことが重要です。次回メンテナンス時期が到来した時にポンプが短いセットアップ/テストルーチンに入ることがあります。安全確保のため、ポンプの真空システムへの連結は、コントローラーを電源に接続する前に行ってください。
- ポンプの点検：ポンプを作動させる前に、クリアランス点検、真空漏れ点検、動作点検などの点検の実施をお勧めします。こうした点検は、ポンプが可能な限りの正常な状態であることを確認するよう考えられています。
オイルカートリッジとベアリングの交換方法
お使いのnEXT55および85真空ポンプのビデオをご覧ください
nEXT AO真空ポンプのビデオをご覧ください
これは、nEXT55/85 Any Orientation、nEXT55、およびnEXT85ポンプのオイルカートリッジとベアリングの交換手順です
ステップ1：正しいピンの選択
最初のステップは、常に、ポンプのサイズに対して適正なピンを選択することです。nEXT55用とnEXT85用のピンがあります。ツールを使用する前に、ピンが正しい位置にあり、ホルダー内で容易に動くことを確認してください。
ステップ2：ベアリング予圧の確認
推奨動作範囲内で、予圧によるクリック音が聞こえるかどうかを確認します。
ステップ3：オイルカートリッジとオイルフィードナットの取り外し
2.5 mmの六角レンチを使用して、オイルカートリッジのボルトを外します。オイルフィードナットを取り外すには、T15とT10のトルクスドライバを使用します。
ステップ4：ベアリングモジュールの交換
1/4インチ角のドライバビットを使用し、B8E200076ピンスパナトルクアダプタを使用してベアリング固定ナットを取り外します。ベアリングモジュールを取り外す際は、インレットフランジを破損させないように、清潔で柔らかい面を使用してください。ここで、ベアリングモジュールエクストラクタを使用して、新品のベアリングモジュールを挿入します。 |
ステップ5：ベアリング固定ナットの組み付け
締付トルクは6 Nmです。オイルフィードナット組み付けの規定締付トルクは2 Nmです。新しいオイルカートリッジの組み付け時の規定締付トルクは4 Nmです。 |
ステップ6：ベアリング予圧の確認
正しいサイズのピンを使用しているか、必ず確認してください。古い部品を廃棄し、次回の点検のためにツールを保管してください。クイックガイドの説明に従って、サービス表示をリセットしてください。 |
作業前および作業中の注意点
最初から安全で効果的に作業するには、次の点に注意してください。詳細については、このページの最後にあるB8E200845ベアリング交換を参照してください。手順を完了する前に、必ず完備したマニュアルをお読みください。
1.開梱と確認
梱包材をすべて取り除き、B8G200840用品目チェックリスト、またはB8E200845用品目チェックリストに記載されている全品目が受領済みであるか確認してください。品目は注文したツールキットのセットによって異なります。不足品がある場合は、できるだけ早くサプライヤにお知らせください。
2.適切なサービスキットがあることを確認
ベアリングモジュールの整備を開始する前に、購入したベアリング/オイルカートリッジサービスキットB8G200811が正しいものか確認してください。
3.メンテナンス前の予圧
ポンプが静止して電気的に絶縁されるまで待ってから、ポンプの取り外しと点検修理を行います。
4.メンテナンス手順
以下を確認してください。
- ポンプ付近の作業場所とポンプベースの清掃状態
- 手工具がすべて清潔で破損していないこと
- ベアリングユニットおよび周辺部品の取り扱い時に、必ず手袋を着用すること
5.ベアリングモジュールの取り外し時
ベアリング回転防止チューブを使用すれば、プーラスリーブの取り付け中のベアリングの滑りを防止できます。
6.ベアリングモジュールの挿入中
ベアリング回転防止チューブを使用すれば、プーラスリーブの取り外し中のベアリングの滑りを防止できます。
7.ベアリング予圧の確認
ベアリング予圧ツールで、ベアリング予圧の設定が適正か確認してください。必要な場合は、ベアリング予圧ツールを使用して予圧を設定してください。正しく設定しない場合、ターボポンプの耐用年数が短くなるおそれがあります。予圧テストプランジャを使用して予圧をモニターするのが賢明です。
8.サービスカウンタのリセット
オイルカートリッジの交換、またはオイルカートリッジとベアリングモジュールの交換が完了したら、整備時期をリセットして次回の整備を予定に組み込むことが重要です。次回整備時期が到来した時にポンプが短いセットアップ/テストルーチンに入ることがあります。安全確保のため、ポンプの真空システムへの連結は、コントローラーを電源に接続する前に行ってください。
9.ポンプの点検
ポンプを作動させる前に、クリアランス点検、真空漏れ点検、動作点検などの点検の実施をお勧めします。こうした点検は、ポンプが可能な限りの正常な状態であることを確認するよう考えられています。
番号
- B8G200840_nEXT55_85 1.6 MB, PDF