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小型STPのロングセラー製品であるSTP-301/451およびコントローラSCU350の更新キャンペーンを実施いたします。STPの旧モデル、または他社機から置き換えの方が対象です。20年以上にわたって多くのお客様から信頼されているSTPの高性能を、大特価でお求めいただけます。

 
 

概要
  • キャンペーン対象:
    旧モデル・他社機から置き換えのお客様限定
  • キャンペーン対象モデル
    • STP-301
      • STP301 DN100CF KF25
      • STP301 ISO100K KF25
      • STP301 VG100 KF25
    • STP-451
      • STP451 DN160CF KF25
      • STP451 ISO160K KF25
      • STP451 VG150 KF25
    • SCU350 コントローラ
      • SCU-350 CONTROL UNIT (100V/200V)
        *SCU350A がご必要の場合、お問い合わせください
        *接続ケーブル、電源ケーブルは含まれません
  • 期間
    • ご注文期間:2024年9月末まで
    • 納入期間:2024年12月末まで
  • 価格:代理店様までお問い合わせください
製品特長

STP磁気浮上式ターボ分子ポンプは、長時間の安定稼動、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が要求される用途に最適です。

シリーズのなかでもSTP-301/451は、クリーンバキュームを実現する超高真空対応のコンパクトなターボ分子ポンプです。

[ 用途 ]
電子顕微鏡 / 分析装置 / 加速器 / 実験装置 / 半導体製造装置(イオン注入、ドライエッチング、MBE)/ ロードロックチャンバー

磁気浮上式ターボ分子ポンプ(STP)

PDF

4.3 MB

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4.3 MB

Line icon of high vacuum

超高真空

全翼ブレード設計により、
到達圧力10-8を達成

Line icon of large customer base

市場での高い実績

STP-301/451は全世界で20,000台以上の
使用実績があります

Line icon of reliablity

高信頼性

確かな信頼性があり、クリーンプロセス
MTBF500,000時間以上を達成

技術データ
項目 STP-301 STP-451
排気速度 [L/s] N2 300 480
He 280 460
H2 300 460
圧縮比 N2 >108
H2 2 x 104
到達圧力 [Pa] VG/ISOフランジ 6.5 x 10-6
CFフランジ 6.5 x 10-6
許容吸気口圧力 [Pa] 6.7 x 10-2
許容排気口圧力 [Pa] 13
起動/停止時間 [min] 3/3
取付姿勢 自由
重量 [kg] 11 12
潤滑油/軸受メンテナンス 不要

注)

  • 排気速度・圧縮比は、弊社測定方法(JVIS規格準拠)によります。(VGフランジ使用時)
  • 到達圧力は弊社測定方法によります。(ベーキング後の到達圧力・VGフランジ、Oリングシール使用時)
  • 許容吸気口圧は、補助ポンプ(240L/minクラス)を用い連続的に運転可能な最大吸気口圧力を示します。(自然空冷時の値。冷却方法によりこの値が変わります。詳しくは弊社にご相談ください)
  • 許容排気口圧は、ガスを流さない状態で 補助ポンプ(240L/minクラス)を用い連続的に運転可能な最大排気口圧力を示します。
FAQ

STPシリーズのメンテナンス頻度はどれぐらいですか?

永久磁石ベアリングを使用しており、オイルも不使用のため、メンテナンスフリーでお使いいただけます。

STPシリーズは取付姿勢が指定されていますか?

STPシリーズは磁気浮上式で、オイルを使用していないため、取付姿勢は自由です。

同じSTPシリーズの他のモデルを購入したいのですが、キャンペーンの対象になりませんか?

申し訳ありませんが、本キャンペーンはSTP-301/451のみが対象になるため、その他のモデルは対象外になります。(通常価格でのご案内となります。)

耐腐食性仕様は、キャンペーン対象になりますか?

申し訳ありませんが、本キャンペーンは基本的に標準仕様以外は対象外になりますが、詳細はご相談ください。

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