小型STPのロングセラー製品である磁気浮上式ターボ分子ポンプSTP-301/451およびコントローラSCU350が2025年7月をもちまして販売終了することになりましたので、ラストバイキャンペーンを実施いたします。20年以上にわたって多くのお客様から信頼されているSTPの高性能を大特価でお求めいただけます。
製品特長
STP磁気浮上式ターボ分子ポンプは、長時間の安定稼動、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が要求される用途に最適です。
シリーズのなかでもSTP-301/451は、クリーンバキュームを実現する超高真空対応のコンパクトなターボ分子ポンプです。
[ 用途 ]
電子顕微鏡 / 分析装置 / 加速器 / 実験装置 / 半導体製造装置(イオン注入、ドライエッチング、MBE)/ ロードロックチャンバー
超高真空
全翼ブレード設計により、
到達圧力10-8を達成
市場での高い実績
STP-301/451は全世界で20,000台以上の
使用実績があります
高信頼性
確かな信頼性があり、クリーンプロセス
MTBF500,000時間以上を達成
技術データ
項目 | STP-301 | STP-451 | |
排気速度 [L/s] | N2 | 300 | 480 |
He | 280 | 460 | |
H2 | 300 | 460 | |
圧縮比 | N2 | >108 | |
H2 | 2 x 104 | ||
到達圧力 [Pa] | VG/ISOフランジ | 6.5 x 10-6 | |
CFフランジ | 6.5 x 10-6 | ||
許容吸気口圧力 [Pa] | 6.7 x 10-2 | ||
許容排気口圧力 [Pa] | 13 | ||
起動/停止時間 [min] | 3/3 | ||
取付姿勢 | 自由 | ||
重量 [kg] | 11 | 12 | |
潤滑油/軸受メンテナンス | 不要 |
注)
- 排気速度・圧縮比は、弊社測定方法(JVIS規格準拠)によります。(VGフランジ使用時)
- 到達圧力は弊社測定方法によります。(ベーキング後の到達圧力・VGフランジ、Oリングシール使用時)
- 許容吸気口圧は、補助ポンプ(240L/minクラス)を用い連続的に運転可能な最大吸気口圧力を示します。(自然空冷時の値。冷却方法によりこの値が変わります。詳しくは弊社にご相談ください)
- 許容排気口圧は、ガスを流さない状態で 補助ポンプ(240L/minクラス)を用い連続的に運転可能な最大排気口圧力を示します。
FAQ
STPシリーズのメンテナンス頻度はどれぐらいですか?
永久磁石ベアリングを使用しており、オイルも不使用のため、メンテナンスフリーでお使いいただけます。
STPシリーズは取付姿勢が指定されていますか?
STPシリーズは磁気浮上式で、オイルを使用していないため、取付姿勢は自由です。
同じSTPシリーズの他のモデルを購入したいのですが、キャンペーンの対象になりませんか?
申し訳ありませんが、本キャンペーンはSTP-301/451のみが対象になるため、その他のモデルは対象外になります。(通常価格でのご案内となります。)
耐腐食性仕様は、キャンペーン対象になりますか?
申し訳ありませんが、本キャンペーンは基本的に標準仕様以外は対象外になりますが、詳細はご相談ください。
これまでエドワーズ製品を購入したことがなく、代理店が分かりません。
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エドワーズは海外メーカーですが、サポート体制は大丈夫ですか?
購入前の仕様選定や購入後のアプリケーション面をサポートする専門のエンジニアや、全国各地にフィールドサービスオフィスを構えています。また、長野県には修理メンテナンス専用工場の伊那サービステクノロジーセンターがあります。
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