真空ポンプを選定する際には、「使用目的」や「必要な真空度」、「排気速度」のポイントを考慮し、用途や条件に応じて最適な真空ポンプを選ぶことが必要となります。
超高真空製品
GAMMA製品
イオンポンプ
チタンサブリメーションポンプ（ TSP ）
非蒸発型ゲッターポンプ（NEG）
- ため込み式超高真空ポンプは、気体分子を物理的または化学的に捕集し、真空環境を維持します。
- これらのポンプは排気された気体を外部に排出するのではなく、内部に固定・吸着することで機能します。そのため、メンテナンスが少なく、長期間にわたり低コストで超高真空（UHV）を維持できます。
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ターボ分子ポンプ
STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ
nEXT ベアリング式ターボ分子ポンプ
- ターボ分子ポンプは、高真空を実現するためのポンプであり、回転翼によって気体分子を効率的に排気します。
- 主に磁気浮上式とベアリング式の2種類に分類され、クリーンな環境や長期間の安定運用が必要な場合は磁気浮上式が適しており、コストやコンパクトさが求められる場合はベアリング式が適しています。
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ターボ分子ポンプステーション
T-station ターボ分子ポンプステーション
TICカートポンプステーション
- ターボ分子ポンプステーションは、高精度な真空環境を提供するためのシステムとなり、ドライポンプとロータリーベーンポンプなど、複数のバックポンプオプションをお選びいただけるため、お客様の用途に合わせて最適なシステム構成が可能です。
- T-stationは80l/sまたは300l/sのターボ分子ポンプとTAGコントローラを備えたスタンダードなシステムです。
- nEXT ターボ分子ポンプステーションは、多数のターボ分子ポンプとバックポンプのラインナップから最適な構成を選択することができ、TICコントローラを備えたインテリジェントなシステムです。
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ドライポンプ
nXRi ドライ多段ルーツポンプ
mXDS3 ドライスクロールポンプ
nXDS ドライスクロールポンプ
XDS ドライスクロールポンプ
- ドライポンプは、オイルを使用せずに気体を排気する真空ポンプで、クリーンな環境が求められる半導体分野などで広く利用されています。代表的な方式にはルーツ式とスクロール式があります。
- ルーツ式は2つのローターが非接触で回転し大流量の排気が可能な一方、スクロール式は螺旋状のスクロールが気体を圧縮・排気し低振動・低騒音でクリーンな真空環境を提供します。
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ロータリーベーンポンプ
RV ロータリーベーンポンプ
EM ロータリーベーンポンプ
- ロータリーベーンポンプは、回転するローターに取り付けられたベーンがシリンダー内壁に沿って動くことで、気体を吸引・圧縮・排気する真空ポンプです。
- 構造がシンプルで効率が高く、中真空領域を得るのに適しています。
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