2017/09/06
英国、ウェストサセックス、バージェスヒル（2017年9月6日） - エドワーズは、一貫性のあるパフォーマンス、信頼性そしてコントロールが求められるアプリケーションに最適な、新しい空冷nXLiドライ真空ポンプのシリーズを発売しました。nXLiは静かな動作でフットプリントも小さいため、便利で高性能でありながら小型の真空ポンプです。
インテリジェントドライブにより、システムは単相電源によりさらに強化された性能で世界どこでも同じ動作を実現します。標準として手動、シンプルリモートまたはシリアル通信コントロールのコントロールオプション選択により、システム設計者にとってより柔軟なコントロールオプションが可能となります。ポンプ機構は非接触型かつオイルフリーで、最大動作時間を延長でき、最大5年間のサービス寿命を提供します。
チャンバーの排気開始時から、インテリジェントな過渡的過負荷保護機能により限られた短時間により高い電力を引き出すことができます。これにより、ポンプがチャンバーを大気圧から動作圧力まで排気できます。この開始時高出力増強によりポンプは最初のガス負荷を克服し、いったん動作圧力に達した後は必要な電力は減少します。
この新しい単相ポンプにはnXL110iとnXL200iの2つのオプションがあり、両方ともLCMS（液体クロマトグラフィー - 質量分析）とICPMS（誘導結合高周波プラズマ質量分析法）デューティに対して最適化されており、最大25slmまでのガス負荷に対応できます。
「性能は新しいnXLiドライポンプの核です。」とコメントするのはエドワーズのHigh Vacuum部門のシニア製品マネージャーであるDave Goodwinです。「私たちはエドワーズ iXLシリーズの半導体ドライポンプをベースにしたこの新しいシリーズの発売に当たって興奮しています。実績あるパフォーマンスで安心を提供します。」
詳細については、次を参照してください： https://www.edwards/en/our-markets/semiconductor-and-electronics/dry-pumps