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Banner superiore Pompa criogenica CTI-Cryogenics 320F XVS Edwards

Pompa criogenica On-Board IS 320F XVS

La soluzione ideale per le applicazioni più complesse degli impiantatori ionici odierni

Raggiungi nuovi livelli di prestazioni con la pompa criogenica

La pompa criogenica CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS in posizione verticale

La pompa criogenica On-Board® IS 320F XVS è progettata per offrire le massime prestazioni di pompaggio di idrogeno e migliorare la resa e la produttività dei processi, offrendo la risposta perfetta alle attuali sfide delle applicazioni degli impiantatori ionici.Il controllo intelligente del sistema integrato nella pompa criogenica è garanzia di una migliore qualità del processo, uniformità del vuoto e tempi di attività, fornendo al contempo informazioni in tempo reale sul sistema per un controllo ottimale delle temperature dell'array. La qualità del vuoto è ottimizzata grazie all'adattamento automatico alle variazioni delle condizioni di carico termico/gas.

   

Caratteristiche e vantaggi

  • Variazione della velocità di pompaggio H2 ridotta tra le rigenerazioni
  • Impatto ridotto sulla velocità di pompaggio H2 a causa della contaminazione di fotoresist
  • Temperature dell'array stabili e ottimizzate

  • Velocità di pompaggio H2 alta - 15.500 L/S
  • Elevata capacità H2 – 40 STD-L

  • Pompe criogeniche On-Board IS
  • Compressori IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

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