Atlas

ATLAS - prestazioni di abbattimento senza eguali

Tecnologia di abbattimento Atlas: una gamma di soluzioni di abbattimento dei gas di combustione specifiche per il vostro processo:

  • Atlas TCS per gas CVD comuni (NF3/F2)
  • Atlas TPU per gas PFC (ClF3, C2F6, C3F8) nei processi CVD
  • Atlas Kronis per i gas CVD a basso contenuto di k nei processi di prossima generazione
  • Atlas Etch per processi di incisione di semiconduttori e schermi piatti (CF4, SF6 e PFC ad alto flusso)
  • Atlas Helios per il trattamento sicuro dei processi a idrogeno in epitassia e MOCVD

I sistemi Atlas™ sono caratterizzati da un basso consumo di combustibile rispetto ai dispositivi di abbattimento dei gas della generazione precedente, perché utilizziamo la collaudata tecnologia del combustore a combustione interna Alzeta™ per ottenere un costo di proprietà significativamente ridotto. Con uno o sei ingressi dotati di diverse opzioni, compreso un sistema di gestione della temperatura (TMS), i sistemi Atlas possono trattare una capacità di flusso fino a 1.200 slm. Sono, inoltre, progettati per essere facili da usare e consentire una manutenzione più efficiente.

Tecnologia di combustione interna di Edwards

Utilizzato dalla maggior parte dei principali produttori di semiconduttori, il combustore a combustione interna è diventato uno standard mondiale nell'abbattimento dei gas dal 1994.

La nostra esclusiva tecnologia di combustione funziona con una temperatura di combustione uniforme, garantendo emissioni di fondo molto basse e un flusso di gas verso l'interno che impedisce il contatto del materiale di processo con le pareti della camera, riducendo al minimo l'ostruzione da parte dei solidi. L'esclusiva composizione del materiale del combustore assicura una resistenza superiore alla corrosione e contribuisce a rendere Atlas ineguagliabile in termini di affidabilità e sicurezza.

Presso il nostro centro di innovazione ambientale all'avanguardia, abbiamo messo a punto soluzioni di processo per prestazioni eccezionali, collaudate e verificate da terzi. Gli abbattimenti DRE solitamente non rientrano nell'ambito della normativa globale e locale:

    SiH4 e altri alogenuri al di sotto del valore TLV

    NF3: >99%/<TLV

    F2: : >99%/<TLV

    CF4: >90%

    Altri PFC: >99%

Con un'ampia base di installato, un team di applicazioni globale e un servizio di assistenza senza pari, siamo in grado di offrire la migliore soluzione progettata per le vostre esigenze di processo. Contattate il nostro team e potremo trovare insieme la soluzione ottimale.