Analizador de gas de proceso de Edwards: control de procesos en tiempo real para aplicaciones de semiconductores
iTrap® es un espectrómetro de masa basado en la transformada de Fourier con trampa de iones compacto y altamente sensible. Es una herramienta ideal para el análisis de procesos y el control de procesos en línea. Se puede utilizar en entornos de producción y I+D. iTrap lo apoya de manera confiable en la detección de los rastros más pequeños de subproductos de reacciones o contaminantes, lo ayuda a investigar la eficacia de las limpiezas y el análisis del estado de las cámaras. Se mide un espectro de masa casi en tiempo real, Además, puede rastrear cantidades muy pequeñas de moléculas en su cámara de proceso. iTrap es una herramienta poderosa en las manos de un investigador o ingeniero de desarrollo de procesos, y también puede utilizarse como un sensor inteligente integrado y controlado por otros equipos de herramientas de procesos.
El iTrap de Edwards convence a través de las siguientes características:
