Analizador de gas de proceso de Edwards: control de procesos en tiempo real para aplicaciones de semiconductores
ITrap® es un espectrómetro de masa con trampa de iones y transformada de Fourier compacto y altamente sensible. Es una herramienta ideal para el análisis de procesos y el control de procesos en línea. Puede utilizarse en entornos de investigación y desarrollo y de producción. iTrap le permite detectar de manera confiable los rastros más pequeños de subproductos de la reacción o contaminación, lo que lo ayuda a investigar la eficacia de las limpiezas y analizar el estado de la cámara.
Un espectro de masas se mide casi en tiempo real. Con concentraciones menores a niveles de ppb o inferiores, puede rastrear pequeñas cantidades de moléculas en su cámara de proceso. iTrap es una poderosa herramienta en las manos de un investigador o de un ingeniero de desarrollo de procesos, y también se puede utilizar como un sensor inteligente integrado y controlado por otro equipo de herramientas de procesos.
El iTrap de Edwards convence a través de las siguientes características: