VIV Vacuum Isolation Valve - Datasheet
適用於真空系統的特殊閥
專為專業應用所設計
為何選擇特殊閥？
特殊閥並非某種類型的閥，而是一種專門針對真空系統內特定及專業應用所設計的閥門類別。
這些閥門有多種尺寸與設計款式可供選擇，包括手動與氣動，並且經常會整合進階功能來解決預期應用的特定挑戰。
具有聯軸器的 AV5A 進氣閥
AV5A 由鋁合金製成。它有一個連接到螺絲致動活塞的控制旋鈕：順時針轉動控制旋鈕可關閉閥。丁腈 O 形環可將活塞密封至閥體。
此閥可用於直接連接、支撐管線或安裝面板，而且可利用愛德華 SC5 聯軸器 (隨附) 連接至真空系統。
- 簡單的手動進氣閥
- 直接連接、支撐管線或安裝面板
- 經由 SC5 聯軸器 (隨附) 連接
AV10K 進氣閥
AV10K 的製造和運作方式與 AV5A 相同，唯一不同的是兩者的連接方式。
此閥僅支援管線，並利用 NW10 接頭連接至真空系統。
- 簡單的手動進氣閥
- 僅支援管線
- 經由 NW10 接頭連接
BRV 前級真空閥/粗真空閥
附帶 ISO NW 粗真空與前段泵浦終止的 BRV 前級真空閥/粗真空閥，採用手動或氣動致動功能。它們將單獨的前級真空閥/粗真空閥的功能結合在一個整合式 3 連接埠裝置中。
隨附彈性的氯丁橡膠接頭，適用於前級真空連接口。在適當的 NW 終止處終止粗真空與前段泵浦埠。
- 容易操作 ‑ 兩個埠口關閉位置
- 使用壽命長 ‑ 100,000 次或以上的操作次數
- 氣動閥上的位置指示器
- 密封性優於 10‑9mbar ls‑1/8 x 10‑10 Torr ls‑1
IPV10EK 進氣閥 NW10
IPVA10EK 是電磁圈操作閥，專為自動進氣或將氣體排入真空系統而設計。
閥具有兩個含 NW 法蘭的埠。其中一個閥埠連接真空系統，另一個埠可對空氣開放或連接至排氣供應裝置。
真空系統透過閥活塞底部的氟橡膠墊與空氣 (或排氣供應裝置) 隔離，該氟橡膠墊會密封閥體。
- 常開或常關選項
- 小型外殼
- IP65 防護
- MTTF 500,000 個週期
QSB 四分之一旋啟式蝶閥
QSB 四分之一旋啟式蝶閥是精巧、快速作動、高氣導率隔離閥。QSB 閥具有拋光、不鏽鋼、ISO 法蘭主體，以及氟橡膠 O 形環密封閥板與軸。閥板 O 形環溝槽有排氣口，有助於維持穩定的高真空度。閥軸 O 形環和軸承使用 Fomblin® 潤滑脂潤滑，以防止氣體從軸密封後方暴衝。
此閥隨附共同密封件。
- 手動操作
- 高傳導性
- 任一方向都具耐大氣特性
- 精巧且快速作動
- 抗腐蝕結構
VIV 真空隔離閥
VIV 真空隔離閥具高氣導率，快速作動高真空隔離閥的設計旨在防止蒸氣或微粒從前級泵浦移至製程腔體。
當 VIV 關閉時，前級泵浦會安全排氣。VIV 可在泵浦停止或受到制止時保護製程腔體不被洩露。重新啟動前級泵浦時，閥會在 VIV 內的壓力下降時緩慢開啟，將任何壓力突增的影響降至最低。
VIV 真空隔離閥適合與愛德華小型乾式初級泵浦系列 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 搭配使用。
- 高氣導率
- 快速關閉動作
- 電源故障防護
- 彈性安裝選項
- 不限制初級泵浦效能
- 防止蒸汽或微粒從前級泵浦移至製程腔體
- 防止在電源供應器故障時處理腔體排氣
針對安裝 M8 閥接頭或 15 針 D 型邏輯介面接頭的愛德華前級泵浦，我們建議使用 24V dc 閥和選用配件纜線或 VIV Link，因為這可提供更高的保護層級。
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