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洩漏是指特定技術系統中的一個小孔,導致氣體進出,對系統造成不良影響。
洩漏率則是指洩漏的規模,在特定壓差之下通過洩漏點的氣體量。
沒有任何真空裝置或系統可保持絕對真空,實際上也不需要。最簡單的關鍵在於保持夠低的洩漏率,讓真空容器所需的操作壓力、氣體平衡及最終壓力不至於受影響。
所需的壓力等級越低,裝置氣壓相關規定就越嚴格。