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擴散泵浦

擴散泵浦

新一代高流量擴散泵浦

嚴苛工業應用的理想解決方案

效能穩定

最佳化的泵浦抽氣速度與穩定的高流量適用於重要的鍍膜、冶煉、熱處理及研發應用。

可靠並提高產量

智慧型溫度控制與機上感測器能確保將負載減至最低,並延長加熱器與機油的使用壽命。不磨損的組件與容易更換的加熱器匣可確保延長維修與保養的間隔。

高效率能源控制器

高效率能源控制器具有 USB 和乙太網路介面,不僅便於使用和操作,更可進行有效監控。創新的加熱設計可加快熱機時間,並可節省高達 30% 的能源。

技術規格

    nHT10 nHT16 nHT20 nHT32 nHT35    
    ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI  ISO ANSI ISO
入口連接方式    10˝ ANSI  320 ISO-K  16˝ ANSI 500 ISO-K 20˝ ANS 630 ISO-K  32” ANSI 800 ISO-F 35˝ ANSI 1000 ISO-F
前級段連接方式   2˝ ANSI 63 ISO-K 3” ANSI  100 ISO-K 4˝ ANSI 160 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K 6” ANSI 200 ISO-K
泵浦抽氣速度*
氮 < 10-4 mbar
l/s 3,000 6,800 10,000  21,000 30,000
泵浦抽氣速度
氬 < 10-4 mbar
l/s 2,750 6,350 9,000 18,000 26,000
泵浦抽氣速度
氦 < 10-4 mbar
l/s 4,500 9,500 17,000 30,000 42,000
氣體流量 mbar l/s 8. 11 17 36 36
操作範圍 mbar < 10-1 至 10-7 < 10-1 至 10-7 < 10-1 至 10-7 <10‐2 至 10‐7 < 10-2 至 10-7
極限真空壓力
(Edwards 704)
mbar < 5 x 10-7 < 5 x 10-7  < 5 x 10-7 < 10‐6  < 10-6
精確穩定的前級壓力
(Edwards 704)
mbar 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1 5 x 10-1
加熱功率 kW 3.6 7.2 10.8 21.6 21.6
加熱匣 數量 3 6. 9 18 18
熱機期間 分鐘 < 15 < 15 < 25 < 25 < 25
重量 公斤 105  185 210 570 720
建議使用的油品種類   Edwards 704
機油 L 3.0-4.0 3.5-4.5 5.5-7.0 9.0-11.0 9.0-11.0
建議使用的持壓泵浦   E2M40 E2M40 E2M40 E2M80 E2M80
建議使用的前級泵浦   nES200、E2M80、
EDS200、EH1200
nES200、E2M175、
EDS200、EH1200 
nES300、E2M175、
EDS300、EH1200
nES630、E2M275、
GXS450、EH2600
nES630、E2M275、
GXS450、EH2600

知識與深入解析

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