Edwards 製程氣體分析儀 - 半導體應用的即時程序控制
iTrap® 是一種精巧、高靈敏度的離子阱傅立葉轉換質譜儀。這是程序分析與生產線程序控制的理想工具。可用於研發和生產環境。iTrap 可靠地支援您偵測最小痕量的反應副產物或污染物，協助您調查清潔的有效性和分析腔體的健全狀況。
質譜幾乎是即時完成測量。由於濃度可低達 ppb 級或更低，您可以追蹤製程腔體中極小量的分子。iTrap 是研究者或程序開發工程師手中強大的工具，也可以作為由其他程序工具設備所整合及控制的智慧型感測器。
Edwards iTrap 令人信服之處在於：
