T-Station 85 | 技術規格 |
N2 的泵浦抽氣速度 | |
NW40 | 47 ls-1 |
ISO/CF63 | 84 ls-1 |
N2 的壓縮比 | >1 x 1011 |
前級泵浦抽氣速度 @50 Hz | |
E2M1.5 (TS85H 油式) | 1.6 m3h-1 |
XDD1 (TS85H 乾式) | 1.2 m3h-1 |
極限真空 | <5 x 10-10 mbar* |
進氣口法蘭 | NW40、ISO63 或 CF63 |
排氣口法蘭 | |
E2M1.5 (TS85H 油式) | 11 mm OD 噴嘴或 3/8” BSP |
XDD1 (TS85H 乾式) | 已裝配消音器或 1/8” BSP |
質量 | |
E2M1.5 系統 (TS85H 油式) | 最大 21 公斤 |
XDD1 系統 (TS85H 乾式) | 最大 17 公斤 |
噪音等級 | ≤56 dB(A) |
密封性 | <1 x 10-6 mbar ls-1 |
操作溫度範圍 | 12 至 40 °C |
*T-Station 85H 濕式 CF63 |