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MicroTIM 提供適用於愛德華乾式泵浦的 EtherCAT 介面。

如需安裝和操作介面的詳細資訊，請參閱產品隨附的使用手冊。

粗真空泵浦
EtherCAT MicroTIM D37363000

變更說明
ESI 檔案名稱 D37363610H.XML

新增 0x100B 製造商開機載入程式版本的更新。CTT 2.1.0 的更新。
相容的 MicroTIM 韌體 D37363605D
一般裝置設定檔 ETG5003-1
CDP 功能產生編號 2
特定裝置設定檔 ETG5003-2050
SDP 功能產生編號 2
核發日期 2017 年 3 月 30 日