Edwards 推出 EdCentra 次潔淨區域管理系統

2017年7月12日

愛德華半導體服務部門全球行銷總監 Geoffrey Stoddart 說:「正如製造商採用進階監測與數據分析來優化晶片製造廠的作業,他們也在尋找能否在次潔淨區域作業應用相同科技以取得顯著效益。例如,在真空影響領域或晶片製程的意外真空故障損失方面,真空狀態會影響晶片品質和整個晶片製造廠的成本。EdCentra 可提供泵浦效能和預測維護的寶貴數據,極大化機台正常運行時間。」




EdCentra 取代 FabWorks,具有多項新特色,使用者介面直覺、圖像化,並可完全自訂,藉此改良次潔淨區域的管理能力。次潔淨區域作業員、晶片製程工程師、營運經理可藉由 EdCentra 取得詳盡且即時的設備狀態總覽。只要點幾下滑鼠,即可快速洞悉各個設備級別的資訊。通過螢幕上簡潔的趨勢圖,對比多種工具和參數,即可運用詳盡的歷史趨勢分析快速進行故障模式的根本原因分析。進階功能包含: 監測特定製程的參數門檻和預測維護、促進狀態維護、維護共用資源。




EdCentra 的設計可提供快速又可執行目標的措施,滿足新市場和客戶需要,並且無縫添加新的關鍵次潔淨區域設備監測趨勢。這個系統可預測新類型的資料庫、通訊協定和數據管理生態系統。




Stoddart 補充道:「EdCentra 已為未來做好準備, 涵蓋我們的全球設備與製程知識。通過 EdCentra 的監測、進階診斷、預測能力,客戶可以放心他們的次潔淨區域基礎設施皆維護良好,並可提供穩定的製程和產能效率。」

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