Foundry voorkomt verlies van een batch wafer door risico's in SubFab uit te schakelen

Onzekerheid in de SubFab creëert risico voor de waferoutput en de beschikbaarheid van de apparatuur.

De volgende groeifase van de foundry zette het Fab-team op zoek naar nieuwe kanalen voor innovatie. Alle onderdelen van de productieketen moesten hun bijdrage aan de Fab-opbrengst vergroten. Hun vacuüm- en afzuigsystemen waren in de loop der jaren geëvolueerd, waarbij verborgen variabelen de potentiële prestaties van de bredere fab beïnvloedden. Ongeplande vacuümsysteemstoringen tijdens de waferverwerking waren een dringende zorg. Voortschrijdende halfgeleiderfabricageprocessen stelden ook steeds hogere eisen aan vacuüm- en afzuigapparatuur.

Fabrieksstilstand

Een pomp "crash" tijdens een batchproces die leidt tot het afkeuren van een hele productiebatch – tot wel 125 wafers – kan een enorm verlies betekenen in product en processtilstand. Zelfs bij processen met enkele wafers kunnen ongeplande storingen aan vacuümpompen aanzienlijke verliezen veroorzaken, aangezien procestools vele uren of zelfs dagen nodig hebben om opnieuw gekwalificeerd te worden.

Belangrijkste problemen

Nieuwe productieprocessen stellen steeds hogere eisen aan apparatuur
Kortetermijnoplossing voor verhoogd onderhoud
Een verlies van meer dan $836k aan jaarlijkse waarde door ongeplande SubFab-incidenten bij een batchoven

Het SubFab-monitoringsysteem van de foundry kon geen inzicht bieden in het optreden van storingen aan vacuümapparatuur. Er was een tijdgebaseerd onderhoudsregime van kracht voor vacuümpompen die kritieke procesapparatuur ondersteunen. Dit onderbrak waardevolle productieschema's, waarbij dure procesapparaten vaak te vroeg of alleen als voorzorgsmaatregel werden stilgelegd. Zelfs bij verkorte onderhoudsintervallen traden er nog steeds pompstoringen op, wat bijdroeg aan stilstand van apparatuur en verlies van wafers. Op zoek naar een oplossing benaderde de foundry ons om eerst te kijken naar een batchovenapplicatie die een hoogwaardiger risico veroorzaakte door een klein aantal ongeplande gebeurtenissen.